廣州潽拓光電科技有限公司——Agilent真空泵配件廠家

抗振動(dòng)測(cè)試 通過(guò)對(duì)一批泵（處于運(yùn)行和非運(yùn)行條件下）進(jìn)行一系列測(cè)試，證明對(duì)外部源產(chǎn)生振動(dòng)的耐受性。在 105 分鐘的振動(dòng)周期中，全轉(zhuǎn)速和不運(yùn)行的每個(gè)泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振動(dòng)。該測(cè)試證實(shí)了泵的穩(wěn)定性以及耐振性，因?yàn)槲从^察到轉(zhuǎn)子機(jī)械接觸或泵運(yùn)行狀態(tài)的改變，且泵不平衡性仍然遠(yuǎn)低于閾值。溫度測(cè)試 將泵置于 –40 °C 至 +70 °C（處于非運(yùn)行狀態(tài)）以及 0 °C至 40 °C（處于運(yùn)行狀態(tài)）下暴露 86 小時(shí)。對(duì)每個(gè)泵的不平衡性和是否可正常操作驗(yàn)證 11 次，結(jié)果顯示僅存在的變異，遠(yuǎn)低于閾值。溫度測(cè)試證實(shí)了泵在各種預(yù)期運(yùn)行和非運(yùn)行溫度條件下的穩(wěn)定性。

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殊潤(rùn)滑劑潤(rùn)滑軸承

使用渦輪分子泵的高真空環(huán)境對(duì)潤(rùn)滑油或潤(rùn)滑脂非常敏感，因?yàn)樵诟哒婵窄h(huán)境下，潤(rùn)滑油或潤(rùn)滑脂非常容易汽化。一方面，這些油脂類(lèi)的蒸氣會(huì)形成一種氣源，影響系統(tǒng)的真空度和純凈度；另一方面，這些蒸氣進(jìn)入到真空腔體后，會(huì)冷凝附著在其它零件上，影響高真空系統(tǒng)內(nèi)相關(guān)設(shè)備的工作。

TwisTorr 704 FS 采用安捷倫與軸承廠家合作研發(fā)的軸承，能夠任意方向安裝；并且，由于其使用的特殊潤(rùn)滑劑飽和蒸汽壓極低，正常使用時(shí)幾乎沒(méi)有損耗，使得該泵在整個(gè)壽命周期內(nèi)都無(wú)需進(jìn)行加注潤(rùn)滑脂、更換油棉等維護(hù)。

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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見(jiàn)的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷，正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng)，對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。

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擴(kuò)散泵工作時(shí)，從噴塔高速噴射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并從油池邊緣向中心流動(dòng)，在流動(dòng)的過(guò)程中，油的溫度逐漸升高，油中沸點(diǎn)比較低的小分子組分，在靠近油池邊緣的地方就會(huì)汽化，而沸點(diǎn)比較高的大分子組分，則會(huì)在靠近油池中心的地方汽化。一般的擴(kuò)散泵噴塔各級(jí)噴嘴之間是互相聯(lián)通的，而安捷倫擴(kuò)散泵的噴塔各級(jí)噴嘴彼此獨(dú)立，特別是噴塔，只有沸點(diǎn)高的大分子油蒸汽才會(huì)從這里噴出，這一特點(diǎn)不僅擴(kuò)散泵極限真空很好，而且由于高沸點(diǎn)的泵油更不容易二次揮發(fā)，使得泵的返油率很低。

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分子泵：安捷倫TwisTorr渦輪分子泵采用獨(dú)有的AFS懸浮軸承技術(shù)，工作時(shí)振動(dòng)非常低，被廣泛地應(yīng)用在世界各地的眾多電子顯微鏡上。一個(gè)位于日本的業(yè)界，從2015年起，在其生產(chǎn)的電子顯微鏡上使用了1000多臺(tái)安捷倫分子泵，泵的可靠性非常接近，實(shí)測(cè)的振動(dòng)水平低于0.01米/秒2，噪聲等級(jí)更是只有40dB(A)。

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當(dāng)磁場(chǎng)逐步增加后，被測(cè)分子泵轉(zhuǎn)子的平衡溫度也隨之上升，當(dāng)磁場(chǎng)強(qiáng)度為 7mT 時(shí)，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度）。另外，KIT 使用該測(cè)試平臺(tái)測(cè)試了另一臺(tái)其它品牌的分子泵，一系列的對(duì)比測(cè)試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場(chǎng)條件下轉(zhuǎn)子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時(shí)，低大約40度）。