真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

科創(chuàng)真空生產(chǎn)、銷售氦檢漏設(shè)備，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

概述

本設(shè)備適用對(duì)充氣環(huán)網(wǎng)柜（以下簡(jiǎn)稱工件）進(jìn)行真空法檢漏。同步對(duì)工件和真空箱抽真空，使工件內(nèi)外壓差不大于0.04Mpa，對(duì)被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測(cè)，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用，后向工件內(nèi)充入規(guī)定壓力的SF6和氮?dú)夤ぷ鳉怏w。中科科美生產(chǎn)的氦檢系統(tǒng)，針對(duì)冷凝器檢漏節(jié)拍在40秒/件，針對(duì)蒸發(fā)器檢漏可達(dá)20秒每件。

回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時(shí)，利用壓縮機(jī)的抽吸性和壓縮性把SF6電器設(shè)備內(nèi)一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機(jī)，并壓縮至某一較高的壓力。同時(shí)利用R22制冷劑的低蒸發(fā)溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進(jìn)行液化、貯存。3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。這樣連續(xù)抽吸至SF6壓縮機(jī)串聯(lián)運(yùn)行，直至達(dá)到回收終壓力。

性能特點(diǎn)

1、安全

★ 電氣系統(tǒng)具有自我檢測(cè)、連鎖保護(hù)和報(bào)警功能，確保系統(tǒng)本身運(yùn)行可靠安全和被檢工件的安全。

★ 真空箱門設(shè)安全光電保護(hù)裝置，確保操作者安全

★ 氦氣示蹤安全環(huán)保。

★ 儲(chǔ)氣罐和壓縮機(jī)出口配置安全閥保證系統(tǒng)安全。

2、高靈敏度

★ 檢漏精度高。

★ 抑零功能，消除氦本底影響。

用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量(在空氣中約含5.2ppm)， 在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也

就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小(相對(duì)分子質(zhì)量為4)，易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同-漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

1、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氮信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

2.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好，然而由于氫一方面有 危險(xiǎn)，另- -方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn):大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大,以致靈敏度大大降低，所以很少采用。