徑向誤差補(bǔ)償方法。在PMD1000設(shè)備中，顯影液是通過安裝在腔體上方的噴嘴以扇形噴灑到掩模版上。顯影中心是銀原子，它不可能吸附BI-，只有Ag+的地方才會(huì)吸附它。當(dāng)掩模版處于低位置時(shí)，噴嘴角度被調(diào)整到對(duì)準(zhǔn)掩模版中心。在掩模版旋轉(zhuǎn)過程中，掩模版中心一直處于新鮮顯影液覆蓋范圍，因此掩模版中心位置的顯影程度會(huì)高于周邊位置，從而造成中心CD比周邊大。如果徑向誤差分析顯示這種情況，需要通過調(diào)整掩模版顯影高度來對(duì)周邊進(jìn)行補(bǔ)償。

菲尼酮具有優(yōu)良的顯影性能，顯影速度較米吐爾快，用量甚少，只相當(dāng)于米吐爾用量的五分之一到十分之一，每升0.1~0.5克即可，而且它的顯影氧化產(chǎn)物是無色的。3D玻璃產(chǎn)業(yè)鏈都將應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)，目前以藍(lán)思、伯恩、比亞迪等為首的加工商在探索驗(yàn)證小批量產(chǎn)。菲尼副單獨(dú)顯影時(shí)，顯影能力較弱，一旦與對(duì)二酚組合使用時(shí)，就表現(xiàn)出極大的超加和性。這二者組合使用的顯影液通常稱為P-Q顯影液。

這類顯影液優(yōu)點(diǎn)是顯影速度快，可鏈帶式獲得較高的感光度，尤其是影像的暗調(diào)層次特別豐富，組成銀影的顆粒較細(xì)，適宜高倍放大。由于我們的顯影設(shè)備是旋轉(zhuǎn)式噴淋，所以我們需分離出徑向誤差加以分析，通過一定補(bǔ)償方法提高CD均勻性指標(biāo)。它在pH值較低的情況下，其顯影活性相對(duì)比M-Q顯影液強(qiáng)，并且受離子的影響小，藥液不易變色，使用壽命長。菲尼酮的缺點(diǎn)是容易生成灰霧，為了避免這一現(xiàn)象的發(fā)生，可適當(dāng)增加化鉀的用量。

促進(jìn)劑

顯影液中如果只有顯影劑，是可以完成顯影化學(xué)反應(yīng)的，但化學(xué)反應(yīng)速度很慢，并且顯影效果不一定理想。一般的顯影劑必須在堿性溶液中才有足夠的顯影能力，而且還能提高顯影速變。顯影的方法使?jié)撚皵U(kuò)大為可見影像的方法有兩種：一種是通常所用的化學(xué)顯影。由于堿能促進(jìn)顯影作用，所以堿就稱為促進(jìn)劑。常用的促進(jìn)劑有碳酸鈉Na,CO，、碳酸鉀K2CO，、硼砂Na,B40, 10H,0偏硼酸鈉NaBO，NaOH、化鉀KOH以及磷酸鈉Na,PO，等等?；浘鶎購?qiáng)促進(jìn)劑。適用于高反差快速顯影液。

在曝光顯影工藝中，只有對(duì)以上各種公差配合完全掌握，才能簡(jiǎn)單可靠的做出合格產(chǎn)品。

曝光顯影技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1、解決3D曲面玻璃(包含四面曲)印刷難題；

2、圖形轉(zhuǎn)印技術(shù)單層、多層套印精度高；

3、霧化噴涂確保厚度均一性，提高致密性，降低油墨厚度；

4、采用圖形轉(zhuǎn)印技術(shù)，良率較高；

5、4-6寸蓋板單制程產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)明顯；

6、較薄的油墨利于貼合，提高制程整體良率