使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)

1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會(huì)阻塞傳感器和分流器, 導(dǎo)致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾裝置;

2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內(nèi)部會(huì)導(dǎo)致無(wú)法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置，假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;

3.怕應(yīng)用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 導(dǎo)致MFC通道毀壞, 因而在應(yīng)用腐蝕性氣體前, 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)開(kāi)展烘干解決;，并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性，還要使用惰性氣體對(duì)管路進(jìn)行吹掃，然后再通腐蝕性氣體，等MFC工作結(jié)束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路，保證管路中不會(huì)殘存腐蝕性氣體。

4.怕在應(yīng)用強(qiáng)腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標(biāo)準(zhǔn)實(shí)際操作, 這樣有可能導(dǎo)致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。

5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預(yù)熱，保證MFC在不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量處于0的位置，如果不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量顯示有一定的數(shù)值，表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象，可以先對(duì)MFC進(jìn)行調(diào)零處理，否則將影響MFC的精度。

氣體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)

利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí)，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD，一只用來(lái)做熱源，一只用來(lái)測(cè)量流體溫度，當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過(guò)微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。

采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù)，能實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量和控制，其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償，廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制

氣體質(zhì)量流量控制器對(duì)于氣體的要求

1，氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物, 沒(méi)有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。

2，輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn), 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。

3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng), 用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無(wú)效，還容易產(chǎn)生危險(xiǎn)。