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觀察樣品的景深大,視場大,圖像富有立體感,可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等,使人具有親臨微觀世界現場之感。
樣品制備簡單,只要將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理,就可直接放到掃描電鏡中進行觀察,因而更接近于物質的自然狀態。
可以通過電子學方法有效地控制和改善圖像質量,如亮度及反差自動保持,試樣傾斜角度校正,圖象旋轉,或通過Y調制改善圖象反差的寬容度,以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數裝置或圖象選擇器,可在熒光屏上同時觀察放大倍數不同的圖象。
要獲得一張清晰的電鏡照片,必須要能夠做好基本的電鏡操作、以及針對各種樣品做出工作條件的優化。
基本操作包括熟練的調節對焦和消像散。對焦相對容易,改變焦距,直至圖像清楚的時刻即為合焦。在偏離焦距較多的時候可以用較高的靈敏度,在合焦點附近調低靈敏度,以便進行對焦。
基本操作中消像散相對來說比較麻煩,特別是像散很大時,對于很多初學者來說調節比較困難。不過前面已經介紹了像散的產生,電子束由于不再是圓形,所以在像散未消除的情況下,圖像是不清晰的。不過其中有兩個特殊的位置,即光學中的子午和弧矢,在這兩個位置上束斑完全成正交的直線。而明晰圓一般在弧矢和子午的中間。