分子泵：分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

冷凝水的影響:　　冷凝水在多級(jí)真空泵中具有無足輕重的位置, 為了包管冷凝水可以將蒸汽充沛冷凝, 真空泵排出壓力中的水蒸汽分壓有必要高于其所對(duì)應(yīng)的飽滿蒸汽壓, 所以冷凝水的溫度也要低于該壓力下的飽滿溫度, 才干包管泵體的正常作業(yè)。別的, 冷凝器的冷凝功率也是十分要害的, 冷凝器的冷凝作用差, 會(huì)使蒸汽因來不及冷凝而直接進(jìn)入下一級(jí)泵, 加大后級(jí)泵的負(fù)荷, 影響泵的抽氣才能。為此,冷凝水的進(jìn)口溫度, 流量及冷凝器的運(yùn)用情況對(duì)泵的功能均有很大的影響。

環(huán)境的影響:　　環(huán)境的影響主要是指被抽氣體對(duì)體系的污染, 在鋼液處置過程中, 鋼液會(huì)放出很多的氣體, 一起也會(huì)有一部分細(xì)微的氧化粉皮等小顆粒被吸入真空泵, 這些小顆粒會(huì)堆積粘附在泵體上,減小了抽氣管路流導(dǎo), 延長了抽氣時(shí)刻, 下降了泵的抽氣功能。經(jīng)過長時(shí)間的理論探索, 咱們以為對(duì)泵的功能影響較大的主要有: 內(nèi)走漏、蒸汽的影響、泵的布局的影響。