無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室。其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。無塵車間凈化原理：氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃 → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。 凈化工程所特別設(shè)計的房間簡稱為：潔凈室、無塵室、無菌室、無塵車間、潔凈廠房等，主要目的是控制環(huán)境內(nèi)的溫濕度、潔凈度、氣流、噪音等達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等，施工人員須對潔凈室施工規(guī)范、施工工藝、施工質(zhì)量有認(rèn)識，否則，施工質(zhì)量很難得到保障。

潔凈技術(shù)專門研究并提供潔凈的生產(chǎn)工藝環(huán)境和生產(chǎn)過程中使用的各種高純介質(zhì)，有效地控制微量雜質(zhì)，以保證高科技產(chǎn)品的成品率。一般潔凈室高度控制在2.60米，對個別較高的設(shè)備可在局部加高，而不宜提高潔凈區(qū)的高度。潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等，施工人員須對潔凈室施工規(guī)范、施工工藝、施工質(zhì)量有認(rèn)識，否則，施工質(zhì)量很難得到保障。

排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計時，要根據(jù)實際情況選擇。凈化車間根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，為若干等級，常用的有和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。