真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。真空泵的價格、運轉及維修費用。

流量單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。流導表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。標準大氣壓壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。極限真空真空容器經充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。

內走漏的影響:　　在整個鋼液處置過程中, 體系的真空度是跟著鋼液的放氣量的削減而不斷升高的。在鋼液處置前期, 體系真空度低, 放氣量大, 需求前級泵的抽氣才能大, 通常選用多個泵并聯的方式增大體系的抽氣量。而當體系真空度不斷升高時, 體系的放氣量也隨之削減, 為了下降蒸汽耗量, 節省能源, 需封閉前級并聯泵中的若干只。泵布局圖中的3A、3B、4A、4B 被稱作前級泵, 或叫預抽泵,B1、B2叫增壓泵。當全泵投入時, B1、B2 開, 3B、4B 泵封閉。在布局圖中可見體系是經過兩個逆止閥與3B、4B 泵進行銜接的, 若是這兩個逆止閥開關不到位,或許有走漏, 都會給體系的才能形成影響尤其是閥的走漏會形成體系短路, 使上一級泵因背壓過高而無法正常作業, 呈現二重真空表象。其次, 真空泵的噴嘴是由兩部分組成的, 這兩部分是靠法蘭銜接的,關于聯接法蘭在泵體內的真空泵, 若聯接處因為密封等緣由形成蒸汽的走漏, 也會給泵的功能形成影響。