廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵不轉

羅茨真空泵市場

從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。目前，國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領基礎上設法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲，軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性

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分子泵葉片破碎的原因：

答：造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來主要是以下幾點：

①、誤操作;比如突然的破真空，因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會造成葉片變形，這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦，導致打碎。

②、是異物掉入;沒有安裝過濾網使肯定不行的，另外掉進去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側面90度或倒立安裝，避免異物掉入。

③、電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。

④、前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。

⑤、、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好，這是技術的關鍵，動平衡差，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。

⑥、軸承部分沒有使用原廠的標準軸承，效果和尺寸不標準等。

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氣載、熱氣體、突變氣載

a 引起問題：溫度升高；動靜片變形；轉子上移；潤滑失效5℃原則；軸承失效

b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時間7磁場屏蔽出現的問題

旋轉的轉子在磁場中產生渦電流，將使轉子發(fā)熱，將產生如下問題：

①、轉子與定子間隙越來越小，造成碎片；

②、轉子溫升過大造成磁性電機轉子退磁；

③、由于發(fā)熱會減弱鋁材料的強度，造成碎泵；

④、轉子發(fā)熱，改變轉子和軸的相對位置，造成碎泵。

分子泵在磁場中運轉時，徑向和軸向磁場強度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應使用導磁材料屏蔽。

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為什么要選擇渦旋式無油干泵IDP-3？極低維護成本IDP-3的采購價格及維護包價格只是隔膜泵的一半更換操作快捷15分鐘即可完成的密封條更換工作降低音頻噪聲—提高用戶體驗使用精密的測聲計，并通過ISO標準進行測試：在操作人員位置的測試結果表明，IDP-3的噪聲會小于油封式真空泵2dB

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安捷倫發(fā)布了全新一代高真空渦輪分子泵 TwisTorr 704FS。作為一款加持了諸多“黑科技”的全新產品，TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵在具有高可靠性的同時，還能做到更經濟。

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安捷倫真空近年來陸續(xù)發(fā)布了多個型號的 TwisTorr 分子泵，該系列把分子泵的典型工作范圍從高真空擴展到了超高真空（參考文章：安捷倫TwisTorr超高真空渦輪分子泵特點介紹）。近日，針對一些對壓縮比要求不高而氣體流量很大的應用，安捷倫真空又發(fā)布了 TwisTorr 305 Q 系列分子泵。

抽速、壓縮比等性能參數是分子泵設計之初就要首先考慮的，也是各項設計調整優(yōu)化的重要目標。產品定型時，安捷倫對外發(fā)布的各項參數和曲線，比如下圖的抽速和壓縮比曲線，都來自于這些測試的結果。這些測試都有相關的資質，在此不再展開描述。

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分子泵：安捷倫TwisTorr渦輪分子泵采用獨有的AFS懸浮軸承技術，工作時振動非常低，被廣泛地應用在世界各地的眾多電子顯微鏡上。一個位于日本的業(yè)界，從2015年起，在其生產的電子顯微鏡上使用了1000多臺安捷倫分子泵，泵的可靠性非常接近，實測的振動水平低于0.01米/秒2，噪聲等級更是只有40dB(A)。

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當磁場逐步增加后，被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升，當磁場強度為 7mT 時，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度）。另外，KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場條件下轉子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時，低大約40度）。