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靶材保養:為避免在濺射過程中因為不潔凈的腔體導致短路和起弧,有必要階段性的除去濺射軌道中間及兩側堆積的濺射物,這也有助于用戶可以連續以大功率密度進行濺射。
靶材儲存:我們建議用戶將靶材無論是金屬或陶瓷類保存在真空包裝中, 尤其是貼合靶材更需要保存在真空條件下,以避免貼合層氧化影響貼合質量。對于金屬靶材的包裝,我們建議少需要包裝在潔凈的塑料袋中。
在2005年后,由于外購銀泥發生變化,雜質含量變動很大,采用原有的工藝根本無法再生產高純銀。經熔煉后生產的陽極板質量為,Au % 3.11~ 9.98%,Ag 68.76% ~84.62%,Cu 0.14%~1.76%,
近十余年來,有關在鎳基單晶高溫合金上制備Pt改性鋁化物涂層的研究已被廣泛報道。沈陽東創貴金屬材料有限公司是東北大學科技產業集團有限公司下屬的國有全資企業,始創于1973年,是國內貴金屬行業的知名企業之一。但鉑影響恒溫氧化、循環氧化和抗熱腐蝕性的具體機制及鉑在涂層中的互擴散行為還有待進一步研究。文獻采用電化學方法研究了在金屬鎢、鈦、錸、鋯及不銹鋼和非金屬玻碳等基體上電鍍鉑的初期形核階段,發現Re基體不適宜電鍍鉑。
第三代及之后的鎳基單晶高溫合金含有Re達6 wt.%,且含有較多的Al和其它活潑性高的金屬元素,這些元素在強酸性的電鍍Pt液中易腐蝕,會影響鉑鍍層結合力和厚度均勻性。
在貴金屬范疇內,金、銀、鉑、鈀由于具有良好的機械物理性能,延展性優越,因此通常經行鑄造、鍛造以后,便很容易拉制成各種規格的絲材。新型的濺鍍設備幾乎都使用強力磁鐵將電子成螺旋狀運動以加速靶材周圍的(Ar)離子化。在事實上,金、銀、鉑、鈀無需進行中間退火,便可以從0.6cm以上一直拉到0.01cm,也就是說經冷拉后的截面積可以縮小99.95%以上,如果經過中間退火,鉑可以拉至0.0076mm。資料介紹,如果采用沃拉斯頓法鍍銀后,可以冷拉至0.001mm,銠不能進行冷加工,但加熱后也具有很大的延伸性能,還是可以拉制成一定程度的銠絲,銥在室溫下硬而脆,因此也不能加工。