噴淋式兆聲噴頭產品概述

兆聲清洗是利用兆赫茲級別的超高頻超聲波能量去進行基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學反應。相比于低頻超聲波空化效應，兆聲波空化效應可清楚更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統以用于CMP化學機械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領域。 Siansonic（東方金榮）噴淋式兆聲清洗噴頭的特點及優勢單點噴淋式兆聲清洗，相比傳統槽式清洗，可解決清洗液二次污染問題。極低的超聲空化效應，不會對器件表面造成損傷超高清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質，適應各種酸堿及石英或藍寶石匹配層技術，無雜質脫落到器件上的風險的換能器貼合技術，更高的穩定性和耐久性

第三代半導體技術的兆聲發生器，實現數字化高頻大功率驅動。

貼合式兆聲清洗頭概述

槽式兆聲清洗的優點在于其兆聲換能器面積較大，可以大面積輻射兆聲聲場，從而更的進行清洗。但缺點是兆聲聲場在水槽中分布不均勻，距離換能器越遠聲強越弱，同時聲能傳遞效率較低。噴淋式兆聲清洗的優點在于可直接將兆聲能量聚焦在清洗物表面，從而可通過運動清洗物和噴頭實現清洗物表面均勻的聲場分布，且聲能傳遞效率較高。但噴淋式需要較大的清洗液流量，對清洗液浪費較大，并且噴淋式兆聲換能器面積較小，從而聲能輻射面積較小，清洗速度較慢。

貼合式兆聲清洗是一種吸取了槽式和噴淋式兩種兆聲清洗的優點并摒棄了二者缺點的更優化的兆聲清洗技術。它可以以相對大的面積直接將兆聲聲能均勻的傳遞到晶圓表面，具有非常高的傳遞效率和聲場均勻性，同時非常節省清洗液。

超聲波清洗原理

超聲波是一種頻率超出人類聽覺范圍20 kHz以上的聲波。超聲波的傳播要依靠彈性介質，其傳播時,使彈性介質中的粒子振蕩,并通過介質按超聲波的傳播方向傳遞能量,這種波可分為縱向波和橫向波。在固體內,兩者都可以傳送,而在氣體和液體內,只有縱向波可以傳送。超聲波能夠引起質點振動,質點振動的加速度與超聲頻率的平方成正比。因此,幾十千赫茲的超聲會產生極大的作用力,強超聲波在液體中傳播時,由于非線性作用,會產生聲空化。在空化氣泡突然閉合時發出的沖擊波可在其周圍產生上千個大氣壓力,對污層的直接反復沖擊,一方面破壞污物與清洗件表面的吸附,另一方面也會引起污物層的破壞而脫離清洗件表面并使它們分散到清洗液中。氣泡的振動也能對固體表面進行擦洗。氣泡還能“鉆入”裂縫中做振動,使污物脫落。對于有油脂性污物,由于超聲空化作用,兩種液體在界面迅速分散而乳化,當固體粒子被油污裹著而粘附在清洗件表面時,油被乳化,固體粒子即脫落。空化氣泡在振動過程中會使液體本身產生環流,即所謂聲流。他可使振動氣泡表面存在很高的速度梯度和粘滯應力,促使清洗件表面污物的破壞和脫落,超聲空化在固體和液體表面上所產生的高速微射流能夠除去或削弱邊界污層,腐蝕固體表面,增加攪拌作用,加速可溶性污物的溶解,強化化學清洗劑的清洗作用。此外,超聲振動在清洗液中引起質點很大的振動速度和加速度,亦使清洗件表面的污物受到頻繁而激烈的沖擊。

超聲波清洗流程

一般來說,清洗的工藝流程依被清洗物體清洗的難易程度及清洗數量而決定。主要清洗流程如下:1)熱浸洗或噴洗:目的是將工件上的污染物軟化、分離、溶解,并減輕下道清洗工序的負荷。2)超聲波清洗:利用超聲波產生的強烈空化作用及振動將工件表面的污垢剝離脫落,同時還可將油脂性的污物分解、乳化。3)冷漂洗:利用流動的凈水將已脫落但尚浮在工件表面上污物沖洗干凈。4)超聲波漂洗:溶劑為干凈的清水,工件浸入后,利用超聲波將浮在工件各邊、角及孔隙處的污物清洗干凈。5)熱凈水及冷凈水漂洗:進一步去除懸附在工件表面上的污物微粒。6)熱風烘干:利用一定的溫度和風速,使零件表面快速干燥。