激光切割機所用氣體的種類和作用：1）空氣：①作為切割氣體使用 ②作為冷卻切使用 ③作為光路內部除塵使用（保護鏡片延長鏡片的使用時間）2）普氧：作為切割碳鋼的氣體（助燃性）純度99.5%3）純氮：作為切割不銹鋼的氣體（冷卻性）純度99.9%（切割碳鋼速度為3/4） 4）高純氮：作為激光器的使用氣體，純度：99.999%5）高純氦：作為激光器的使用氣體，純度：99.999%6）高純二氧化碳：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% ；激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發射的不穩定。中性原子激光與離子氣體激光的差別，在于前者的激光光來自中性原子能階之間的躍遷，后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此，氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同，前者的激光光波長屬于紅外線波段，后者則在可見光和紫外線區。

常用的激光焊接保護氣體主要有N2、Ar、He，其物化性質各有差異，也因此對焊縫的作用效果也各不相同。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動介質。它們的蒸汽中，常混入低壓力的惰性氣體，以提高放電效率。氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發射的不穩定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。

近年來CO2激光加工設備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術亦不同于傳統的加工方法，所以工業界在引進使用CO2激光器的過程中，曾經遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態常以星號(*)上標表示，所以有些數據上寫成ArF*等。準分子不會天然出現，而是在氣體混合物中放電時形成的。激光氣體中的發生氣體時激光發生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。

常用的激光焊接保護氣體主要有N2、Ar、He，其物化性質各有差異，也因此對焊縫的作用效果也各不相同。激光切割機所用氣體的種類和作用：1）空氣：①作為切割氣體使用 ②作為冷卻切使用 ③作為光路內部除塵使用（保護鏡片延長鏡片的使用時間）2）普氧：作為切割碳鋼的氣體（助燃性）純度99.5%3）純氮：作為切割不銹鋼的氣體（冷卻性）純度99.9%（切割碳鋼速度為3/4） 4）高純氮：作為激光器的使用氣體，純度：99.999%5）高純氦：作為激光器的使用氣體，純度：99.999%6）高純二氧化碳：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% ；中性原子激光與離子氣體激光的差別，在于前者的激光光來自中性原子能階之間的躍遷，后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此，氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同，前者的激光光波長屬于紅外線波段，后者則在可見光和紫外線區。