廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內廠家生產的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。

影響油擴散泵性能的因素如下。

1、油擴散泵的返流。

2、氣體分子的反擴散。

3、擴散泵油的裂化分解，一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點的液體，如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈，污染物質留在泵內并重復循環，影響其真空度。

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擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強，被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮，由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。

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鍋爐內泵油的不穩定沸騰，會使噴出的蒸汽射流的密度波動，從而引起抽速和輕氣體壓縮比的變化。鍋爐可能一時過熱，使之有一段爆沸的時間，其補救的辦法是在現代的油擴散泵中采用有翼片的鍋爐，增加內表面積，降低熱流密度，增加功率能使爆沸減低到小或消除。在真空中，強力的爆沸，會引起自爆升騰，對噴咀，引起瞬間堵塞，造成汽流波動。泵內加防爆板可以防止爆沸的影響，因對輕氣體壓縮比低，可引起壓力的不穩定，增加功率和泵的級數是有利的。在擴散泵中設置側面出口噴射噴咀和擴壓器，可使擴散泵這種不穩定性減至小。頂噴咀帽過冷也會引起蒸汽流不連續，導致壓力的不穩定。設法保持頂噴咀的溫度不降，不使其過冷。來自橡膠密封的氣泡，有時油捕集氣體，通過密封膠圈滲透放出，因氣泡有一定壓力使油膜后進入系統中。密封槽內集存的泵油應能排出，可使不穩定減少，若用金屬墊圈就更好了。設計良好的冷帽能防止油滴落到頂噴咀的熱表面上蒸發。在用碳氫化合物泵油時，操作不當，擴散泵系統有發生的危險。大多數情況下規管的燈絲就是點火源。泵的日常操作要規范，定期檢查泵油的質和量。

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（1）目前國內生擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統一，大泵越作越大，小泵則很少生產。況且對泵的性能也沒有考核指標。行業應對提和質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作，使用戶配套方便。（2）泵在結構方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和復位）。出口壓力的監控。（4）規定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。（5）給出合適的前級泵的容量。（6）為了節能加熱功率要可調，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設備的運轉率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。（8）用微機控制運行和故障診斷。（9）密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進一步降低返油率，擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數部件需要維修，泵內無運動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態下可獲得10-10Torr或更低的壓力。