渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域

渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備。科學儀器行業(yè)：同步輻射光束線機、電子顯微鏡、極光試驗設(shè)備、分析測試儀器。機械設(shè)備行業(yè)：材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備。醫(yī)院設(shè)備行業(yè)：透析機、生物制備與藥品制備。包裝行業(yè)：食品、藥品、生物制品包裝設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)很好的配置。

一文了解渦旋真空泵動渦旋盤結(jié)構(gòu)的特點

單面和雙面為動渦旋盤上兩面是否都有渦旋齒而言，動渦旋盤上只有一面有渦旋齒為單面渦旋泵，動渦旋盤上兩面都有渦旋齒為雙面渦旋泵。目前國內(nèi)廠家的產(chǎn)品都為雙面設(shè)計，國外廠家的產(chǎn)品大多為單面設(shè)計

與單面相比，雙面渦旋泵有較高的抽速和自平衡軸向力的優(yōu)點，但是由于很高的結(jié)構(gòu)對稱性要求，雙面渦旋盤的加工制造比較困難

在雙面渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)中，動渦旋中心要安裝兩個軸承，軸承和真空室直接相連，即使使用動密封，也會造成返油現(xiàn)象，污染真空環(huán)境和影響極限真空度，要考慮軸承因真空引起的變形，使用真空軸承，軸承長期在真空條件下工作，會降低軸承的壽命

雙面渦旋真空泵中要求曲軸較長，增大了曲軸的加工制造難度和成本，如果曲軸稍有變形，就會在很大程度上影響側(cè)向間隙，從而影響極限真空度，甚至出現(xiàn)碰齒現(xiàn)象。在單面渦旋真空泵中，軸承可與真空室隔開，清潔度和極限真空度提高；結(jié)構(gòu)簡單，動渦旋盤和靜渦旋盤之間容易拆裝，密封條的替換比較容易；曲軸較短，加工制造難度和成本降低。

渦旋真空泵的工作原理

渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，動、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機構(gòu)保證180°相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構(gòu)成了無油渦旋真空泵的抽氣機構(gòu)。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩變化小，功率變化小，振動噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。