氦質譜檢漏儀設備內芯制造借鑒國外技術，具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質譜檢漏儀。檢漏時噴在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統越龐大，該間隔時間也越長。檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

氦氣檢漏儀可對使用過程中產生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；檢漏儀啟動時間：≤5min。響應時間：≤1s檢漏口的。高壓力：1500Pa。電源要求：220v，50Hz，單相，10A。工作環境：5-35℃檢漏儀自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。氦質譜檢漏儀由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

對檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；氦質譜檢漏主要領域：空調制冷工業——壓縮機、冷凝器、蒸發器及閥門等；真空科學與工業——泵、閥門、真空規管以及鍍膜機、真空爐等真空系統；檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。