廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫二手分子泵升級改造

產品生命周期設計方法傳統的產品設計和開發過程，常被當作是研制產品的一個步驟，因為產品的設計者不可能對上市時間、質量與可靠性、生產成本、售后及易維護性等全盤掌握，使用傳統過程設計的產品在投入生產時不可避免地需要進行反復修改。

產品生命周期設計方法通過提議、調查、實驗室原型、生產原型、試運行和量產六個步驟來推動和設計過程，而在這些設計過程推進時，采用各種各樣的測試和多個部門參與的交互式討論和分析來決定產品設計方案和方向，而這其中的關鍵就是各種測試。

1000余臺樣泵為了驗證各種不同的設計，安捷倫執行了遠超行業標準的大量測試，在量產之前陸續生產了多達1000 余臺樣泵，對各項結構和功能參數進行測試和分析，終產品定型時，僅選用了結果的結構和方案。潽拓光電也在其中學結了產品使用會產生的問題以及特性注意事項服務特性都方便對產品維修和方案起很大作用。

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高真空渦輪分子泵內有一個高速旋轉（每分鐘幾萬轉）的轉子，轉子上有渦輪和拖動級進行抽氣。隨著技術的不斷進步，市場不僅對泵性能的要求越來越高，更對其小型化、高可靠性、維護方便性及靈活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖動級采用圓柱螺旋形的溝槽，而安捷倫 TwisTorr 技術把拖動級放在了薄薄的圓盤上，這樣就可以在有限的空間內集成多對拖動級轉子盤和定子盤，節省空間的同時又能提率和性能。

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采用該技術的分子泵尺寸會更緊湊，并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比（特別是對小分子氣體的高壓縮比）可以帶來更好的極限真空，而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵，從而降低了整個真空系統的成本和尺寸。

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安捷倫真空（原瓦里安真空）是離子泵，賽斯是NEG吸氣劑泵的始創者，兩家公司有累計超過100年的真空經驗。此次的吸氣劑復合離子泵采用了各自的技術，兩家公司充分的信任和緊密的合作促成了這一全新產品的問世，我們期待更多類似的合作，和更多讓我們眼前一亮的產品。

安捷倫 AFS 懸浮軸承系統，采用特殊的彈性材料隔離轉子與泵體，避免轉子和軸承受到從泵體傳來的沖擊；并且由于彈性材料的阻尼效應，可以吸收各種振動的能量，降低整泵的噪音和振動，保證好的軸

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安捷倫擴散泵特點維護簡單，皮實耐用不愛壞擴散泵內部沒有活動部件，與機械式真空泵的磨損失效不同，其工作失效的原因主要有泵油劣化、加熱器損壞、噴塔被油垢污染等等。安捷倫擴散泵管狀加熱器和壓緊結構設計，擁有很高傳熱效率的同時，又保證了泵油和加熱器本身都沒有過熱點，泵油不容易裂解，加熱器也不容易損壞；同時，精細的熱傳導和保溫結構設計，也使熱損失大大降低。

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為了減少軸承因長期存放而造成的分布不均勻，安捷倫的分子泵控制器內置了“軟啟動”功能。如經過運輸或者停泵的時間超過 2 個月，可以使用軟啟動功能啟動分子泵，轉速以階梯方式緩慢加速，使得軸承潤滑脂在低速階段有充分時間重新均勻分布。如果存放時間超過 10 個月，建議送回維修中心，讓分子泵在檢測平臺上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合軸承。

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安捷倫分子泵采用的3級TwissTorr 拖動級技術，通過分子泵旋轉盤面，提高氣體分子動能，從而有效提高抽速和極高的壓縮比。的拖動級技術與上一代設計相比，功耗降低了20%。安捷倫Triscroll 和變頻Triscroll 渦旋式干泵為雙級渦旋式干泵，是目前市場上極限真空度的干泵

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安捷倫Agilent E8364B PNA系列網絡分析儀頻率范圍：10 MHz-50 GHz104 dB 動態范圍和 <0.006 dB 跡線噪聲<26 微秒/點測量速度，32 個通道，16,001 個點TRM/LRM 校準可實現準確的晶圓上、夾具內、波導和天線測量混頻器變頻損耗、回波損耗、隔離度和群延遲放大器增益壓縮、諧波、IMD 和脈沖射頻安捷倫E8364B矢量網絡分析儀是PNA系列網絡分析儀平臺的成員，并提供速度和精度的組合，為今天的高頻率，的組件測試要求的苛刻需求。