氮化硅陶瓷，是一種燒結(jié)時不收縮的無機材料陶瓷。

廢舊氮化硅陶瓷就是經(jīng)過使用以后，損壞或者破損的氮化硅制品，

Si3N4 陶瓷是一種共價鍵化合物，基本結(jié)構(gòu)單元為[ SiN4 ]四面體，硅原子位于四面體的中間，在其周圍有四個氮原子，分別位于四面體的四個頂點，然后以每三個四面體共用一個原子的形式，在三維空間形成連續(xù)而又堅固的網(wǎng)絡結(jié)構(gòu)。

如果要在半導體基材上沉積氮化硅，有兩種方法可供使用：

利用低壓化學氣相沉積技術(shù)在相對較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進行。

等離子體增強化學氣相沉積技術(shù)在溫度相對較低的真空條件下進行。

氮化硅的晶胞參數(shù)與單質(zhì)硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同，生成的氮化硅薄膜會有產(chǎn)生張力或應力。特別是當使用等離子體增強化學氣相沉積技術(shù)時，能通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來減少張力。

先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，然后同時利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細碳粒子的硅膠進行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產(chǎn)生的。

氮化硅的制法有以下幾種： 在1300～1400℃時將粉狀硅與氮氣反應； 在1500℃時將純硅與氨作用；

在含少量氫氣的氮氣中灼燒二氧化硅和碳的混合物;將SiCl4的氨解產(chǎn)物Si(NH2)4完全熱分解。氮化硅可用作催化劑載體、耐高溫材料、涂層和磨料等。

氮化硅陶瓷具有高強度、耐高溫的特點，在陶瓷材料中其綜合力學，耐熱震性能、性能、耐磨損性能、耐蝕性能好，是熱機部件用陶瓷的候選材料。在機械工業(yè)，氮化硅陶瓷用作軸承滾珠、滾柱、滾球座圈、工模具、新型具、泵柱塞、心軸 密封材料等。

氮化硅的很多特點都歸納為在這里結(jié)構(gòu)。純Si3N4為3119，有α和β二種分子式，均為六角晶體結(jié)構(gòu)，其融解溫度在空氣中為1800℃，在110MPa氮中為1850℃。Si3N4熱膨脹系數(shù)低、導熱率高。鎂砂原料的純度要盡可能高，鉻鐵礦化學成分的要求為：Cr2O330～45%，CaO不大于1。壓合鍛燒的氮化硅升溫到l000℃后資金分配冷水中也不易。沒有太高的溫度下，Si3N4具有較高的抗壓強度和抗沖擊性，但在1200℃以上會隨使用時間的提升而出現(xiàn)毀壞，使其抗壓強度降低，Si3N4未來的發(fā)展前途是：⑴充分利用和應用Si3N4本身所具有的優(yōu)異特性；⑵在Si3N4粉狀鍛燒時，設計開發(fā)一些新的助熔劑，科研和控制現(xiàn)階段助熔劑的成分；⑶改善制粉、成型和煅燒法；⑷產(chǎn)品研發(fā)Si3N4與SiC等原料的復合化，有利于制取很多的纖維材料。它耐高溫，抗壓強度一直可以維持到1200℃的高溫而不減少，受熱后不易熔成融體，一直到1900℃才會融解，并有讓人的耐水洗浸蝕能，可耐大部分所有的氧化劑和30%以下的溶液，也可耐很多檸檬酸鈉的腐蝕；此外也是一種電電纜護套原材料。