廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進口分子泵維修維護

滑閥式真空泵市場

國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進口分子泵維修維護維修問題

分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？

答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要儀器和特定的測試環境

分子泵是否對冷卻有明確要求？如風冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會出現何后果？

答：注意水溫和水流量，冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。

分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應如何做才是佳方式？

答：電源本身有接地線，只需要保證市網有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。

頻器電源，轉速上升過程中就自動關機，即顯示“Poff”？

答：原因：電壓低

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使用經過加速的離子束照射被測的表面，通過分析反射的粒子或光譜來測定被照射表面的具體成分。離子束分析技術可以對物體表面和近表面的元素進行分析，具有快速直接、無需樣品處理、無損、元素覆蓋范圍廣等特點。

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測試條件和裝置

被測分子泵的型號為 TwisTorr304 FS CFF6，使用一對亥姆霍茲線圈(直徑 120 厘米)來產生包圍整個泵的均勻磁場。

被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級，分子泵的進氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下（該壓力以下，熱對流幾乎為零，分子泵轉子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷卻水對分子泵持續進行冷卻；分子泵的控制器會自動調整電機電流，保持轉子以恒定轉速運行。使用安裝于分子泵口的紅外溫度計測量被測試分子泵的轉子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測量定子的溫度。

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注意監測前級真空分子泵是一種高真空泵，它必須配合合適的并且性能良好的前級泵才可以正常工作；除了在選型時盡量選擇推薦的前級泵之外，分子泵使用時也要注意監測其排氣口的壓力，避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過高，造成負荷過大，泵溫過高等。這些情況一定要加軸承吹掃分子泵所抽的氣體如果含有較多的可凝性氣體（如水汽，等），高濃度的氧氣、腐蝕性氣體，或者粉塵等，需要增配吹掃閥（Purge Valve），工作過程中利用吹掃氣（一般為干燥氮氣）持續對軸承進行吹掃，以達到隔離污染物，保護軸承的目的。

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當磁場逐步增加后，被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升，當磁場強度為 7mT 時，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的大允許溫度為 120 度）。

另外，KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場條件下轉子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時，低大約40度）。

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Agilent, 安捷倫提供種類繁多的真空系統，以滿足您應用的真空獲得和控制需求。無論您需要靈活可靠的高真空泵系統進行研發，還是需要簡單穩定的工業真空系統進行常規處理，亦或是需要快速、耐用的便攜式解決方案實現實時泄漏檢測，安捷倫均可為您提供解決方案。我們提供多種真空規、離子泵、渦輪泵和擴散泵以及其他真空備件。

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Agilent Technologies Inc.產品包括：

氣相色譜儀；液相色譜儀；光譜儀；FTIR光譜儀；紫外光譜儀；可見光譜儀；分光光度計；原子吸收分光光度計；熒光分光光度計；近紅外分光光度計；組件附件真空設備

安捷倫長期以來始終堅持為客戶提供zui可靠的單四極桿 GC/MS 系統，Agilent 5977B HES GC/MSD 系統是這一傳承的zui新成果。通過集成安捷倫zui新的 HES 離子源，我們得以將 GC/MS 的技術前沿再次向前推進。從根本上講，質譜分析的靈敏度取決于測量的離子總數。