真空泵維修根據多年的維修經驗來給你分析一下多級泵安裝的流程及需要小心的注意事項，希望對你的安裝能有所幫助。安裝多級泵的流程及其注意事項：

1、將多級泵運到現場，找平頂座時不必卸下水泵和電機；

2、直接安裝可煤氣發生爐將頂座放在地基上，在地腳螺釘附近墊上楔形鐵，將頂座墊下約20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥漿之用；

3、用水真空泵平儀檢查多級泵頂座的水平度，找平先用水泥漿填充頂座，待水泥漿做先再檢查一下水平度；

應用

半導體的目標應用包括：

PECVD

高 K

低 K

SACVD

LPCVD

ALD

EPI

FPD 的目標應用包括：

PECVD

TCO

刻蝕

傳輸腔

主要特性和優勢

針對先進的 EPI 和太陽能制程大幅提高了氫氣抽取速度。

大容量干泵和 增壓泵提供擴展的制程窗口以提高產量。

占地面積更小，高度更低，便于在任何工廠中安裝。

符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始終如一地使用或省略不用。

我們這里提到的真空泵維修是指真空泵腐蝕的維修。真空泵維修的方法之一就是在真空泵表層涂上有機涂層，該方法非常有效。

有關真空泵的工作原理、真空泵價格和真空泵維修等知識就為大家介紹到這里了，如果您還想了解更多有關真空泵的知識的話，就請繼續關注我們。

iGX 干泵真空系統

iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護現代干泵樹立了新標準；這 使其成為了世界上受歡迎的干泵之一，目前已在大多數 的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網連接，允許通過網頁查看 主要數據，同時包括一套的網絡選項， 可確保泵持續運轉。

iGX 泵的峰值速度范圍 很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔 到中等負載制程。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵 進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項，包括工具上、近程和遠程操作。

通過使用 iGX 干泵技術， 整個工廠通常可以在設施成本方面實現 40%* 的節省 （與 iL/iH 干泵相比）。

基于包含 200 個工具、537 臺泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國工廠。

愛德華真空泵維修：真空容積，檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

泵系列

Edwards 獲得的螺旋轉子設計 針對高可用性而設計，它提供的抽取速度，并且是先進的熱 管理系統的一部分，可以程度地提高泵性能并延長密封、軸承和 電機的使用壽命，以確保泵具有長的使用壽命。

GXS160

GXS160/1750

GXS250

GXS250/2600

GXS450

GXS450/2600

GXS450/4200

GXS750

GXS750/2600

GXS750/4200

維修完成后，注油前應用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網，以保持油箱的清潔。抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應打開氣鎮，讓泵運行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。

愛德華真空泵維修是門的技術，不是換換軸承、換換油封那么簡單，客戶不要把您真空泵給一家不的廠家維修，很有可能導致真空泵提前報廢，從而給您的生產帶來損失。