廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵維修費用

抗振動測試 通過對一批泵（處于運行和非運行條件下）進行一系列測試，證明對外部源產生振動的耐受性。在 105 分鐘的振動周期中，全轉速和不運行的每個泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振動。該測試證實了泵的穩定性以及耐振性，因為未觀察到轉子機械接觸或泵運行狀態的改變，且泵不平衡性仍然遠低于閾值。溫度測試 將泵置于 –40 °C 至 +70 °C（處于非運行狀態）以及 0 °C至 40 °C（處于運行狀態）下暴露 86 小時。對每個泵的不平衡性和是否可正常操作驗證 11 次，結果顯示僅存在的變異，遠低于閾值。溫度測試證實了泵在各種預期運行和非運行溫度條件下的穩定性。

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殊潤滑劑潤滑軸承

使用渦輪分子泵的高真空環境對潤滑油或潤滑脂非常敏感，因為在高真空環境下，潤滑油或潤滑脂非常容易汽化。一方面，這些油脂類的蒸氣會形成一種氣源，影響系統的真空度和純凈度；另一方面，這些蒸氣進入到真空腔體后，會冷凝附著在其它零件上，影響高真空系統內相關設備的工作。

TwisTorr 704 FS 采用安捷倫與軸承廠家合作研發的軸承，能夠任意方向安裝；并且，由于其使用的特殊潤滑劑飽和蒸汽壓極低，正常使用時幾乎沒有損耗，使得該泵在整個壽命周期內都無需進行加注潤滑脂、更換油棉等維護。

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氣載、熱氣體、突變氣載

a 引起問題：溫度升高；動靜片變形；轉子上移；潤滑失效5℃原則；軸承失效

b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時間7磁場屏蔽出現的問題

旋轉的轉子在磁場中產生渦電流，將使轉子發熱，將產生如下問題：

①、轉子與定子間隙越來越小，造成碎片；

②、轉子溫升過大造成磁性電機轉子退磁；

③、由于發熱會減弱鋁材料的強度，造成碎泵；

④、轉子發熱，改變轉子和軸的相對位置，造成碎泵。

分子泵在磁場中運轉時，徑向和軸向磁場強度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應使用導磁材料屏蔽。

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為什么要選擇渦旋式無油干泵IDP-3？極低維護成本IDP-3的采購價格及維護包價格只是隔膜泵的一半更換操作快捷15分鐘即可完成的密封條更換工作降低音頻噪聲—提高用戶體驗使用精密的測聲計，并通過ISO標準進行測試：在操作人員位置的測試結果表明，IDP-3的噪聲會小于油封式真空泵2dB

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安捷倫分子泵標準保養服務安捷倫維修中心提供各型號安捷倫分子泵的標準保養服務，主要項目包括：對整泵進行拆解和清洗、更換密封和軸承套件、動平衡調試和泄漏檢測等。安捷倫的分子泵設計是免日常維護的。由于工藝環境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經工作了很長時間（5年以上），或者出現了噪音、溫度、功率異常，及時的對其進行維護保養可以大大延長其使用壽命。

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油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。脂潤滑分子泵：油脂量小，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環境

干式真空泵主要應用于半導體、化工、電影、儀器、食品等范圍廣泛的行業，市場上超過50%的產品是進口品牌，尤其在半導體行業中，絕大多數的真空泵均為國外品牌，國產真空泵主要應用于化工等行業。

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安捷倫推出GC-MS 5973和5975分析儀器使用無油真空解決方案——渦旋式無油干泵IDP-3，在客戶現場就可實現。現在使用GC-MS分子泵系統的分析儀器的客戶，可以將您的真空泵升級為無油真空泵IDP-3，來改善操作環境，降低使用成本，消除更換潤滑油和處置廢油所帶來的一切煩惱。

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渦輪分子泵內有多組相間動輪葉和定輪葉，每一個輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片，如圖一所示。實際的渦輪分子泵都是由多級葉列串聯組成，即按動片、定片、動片等依次交替排列。動葉片轉動時又類似于電風扇葉片的作用，能將氣體從一側抽到另一側。提高分子泵的轉速，有利于提高分子泵的抽速。由于葉片轉速限制，如果氣體分子運動速度較大，泵抽真空就比較困難。

廣州潽拓光電科技有限公司推出全新HiPace 350 和 450 渦輪分子泵，該產品特別適用于質譜分析、電子顯微術、測量技術、粒子加速和等離子體物理方面的應用。新產品的應用領域十分廣泛，除了用于分析、真空工藝和半導體技術外，還可用于真空鍍膜、研發以及工業領域。