用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。然后將被檢工件內的氦氣回收循環使用，向工件內充入規定壓力的SF6工作氣體。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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真空箱式氦檢漏設備

適用對各類被檢要求氣密性漏率的產品（以下簡稱工件）進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內外壓差不大0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內的氦氣回收循環使用，向工件內充入規定壓力的SF6工作氣體。系統嚴格按照客戶的要求設計制造，采用模塊化的設計，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標準化的模塊和部件，保證了系統的可靠性和可維護性。設備適應用電力行業,家用空調，制冷行業，汽車行業，新能源行業的氣密性檢測、應具有氣體充注。大漏判定功能，微漏定量檢漏功能，工件泄漏總的判定功能，并能滿足連續生產的需求，具有較高的自動化程度，操作簡便、可靠、安全。設備適應用電力行業,家用空調，制冷行業，汽車行業，新能源行業的氣密性檢測、應具有氣體充注。

氦檢漏設備

氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，廣泛地用于各種真空系統及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲顯著減小.其靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。采用全自動液晶觸摸彩屏顯示，實現智能自動化，操作更方便，簡單可靠。