復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。洗滌衣置放場所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。

氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素，它對噪音也有一些影響。1、無塵室廠區總圖布局應考慮產品工藝特點和防止交叉污染,按生產、行政、生活和輔助區等合理布局,不得互相防礙。因此風速測量，都是放在無塵室測試的步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規范，其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現場的限制，室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。

無塵室內防止微粒子污染的基本原則：

不發生

在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到小限度應采取以下對策：

減少接觸剝離發塵的動作形態；

采用磨耗發塵小的材質；

采用發塵小的潤滑油；

機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。