選擇氣體質量流量控制器和訂貨時應當注意什么？

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應當衡量生產廠家的產品質量﹑銷售價格﹑售后服務﹑技術水平﹑產品特點﹑生產規(guī)模﹑企業(yè)信譽等因素。

(2) 注意選擇正確的工作壓力指標

不同的產品工作壓力指標可能不同，注意選擇適合自己的產品。質量流量控制器（MFC）除耐壓之外，還有另一項工作壓力指標：工作壓差，即MFC進氣端和出氣端之間的壓差，選型時要注意，使用時也要注意。

(3) 注意選擇合適氣體、流量規(guī)格、精度和接頭形式和接口尺寸。

除了氣體種類，流量范圍外準確度和接頭形式也很重要，常見的接頭形式有卡套接頭和VCR接頭，接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10；英制1/8、1/4、1/2英寸的和法蘭接頭。具體接口尺寸需要根據流量范圍來定制。

氣體質量流量控制器的主要優(yōu)點是什么？

(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產生誤差。 針對大部分流量控制系統(tǒng)來講，難以防止系統(tǒng)的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質的溫度轉變。針對一般的流量計，工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差；針對質量流量計 / 質量流量控制器，則一般可以忽略。

(2) 測量操縱的自動化技術 質量流量計 / 質量流量控制器可以將流量測量值以規(guī)范電子信號輸出。那樣非常容易實現(xiàn)對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動保存﹑電腦管理等。對質量流量控制器來講，還能夠完成流量的自動控制系統(tǒng)。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開展自動控制系統(tǒng)。

(3) 定量操縱流量 質量流量控制器可以控制汽體的給定量，這對許多加工工藝全過程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。

(4) 應用領域寬 有很寬的壓力范疇，可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體（包含一些腐蝕汽體，如HCL）

氣體質量流量控制器應用領域

氣體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產并在其中起著重要的作用。典型的應用場合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

如何通過質量流量控制器判斷有沒有氣體通過？

可以使用惰性氣體接到MFC進氣端，然后將出氣口接一根軟管再通進水里，如果軟管口有氣泡冒出，證明MFC是有氣體通過的，不過需要注意防止液體倒吸進MFC內，也可以用手將出氣口堵死，觀察瞬時流量是否有下降，如果有下降，也證明有氣體通過，此時堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。