原子熒光光譜儀

直躍線熒光是激發態原子由高能級躍遷到高于基態的亞穩能級所產生的熒光。階躍線熒光是激發態原子先以非輻射方式去活化損失部分能量，回到較低的激發態，再以輻射方式去活化躍遷到基態所發射的熒光。直躍線和階躍線熒光的波長都是比吸收輻射的波長要長。根據熒光譜線的波長可以進行定性分析。在一定實驗條件下，熒光強度與被測元素的濃度成正比。據此可以進行定量分析。

原子熒光光譜儀

物質吸收電磁輻射后受到激發，受激原子或分子以輻射去活化，再發射波長與激發輻射波長相同或不同的輻射。當激發光源停止輻照試樣之后，再發射過程立即停止，這種再發射的光稱為熒光；若激發光源停止輻照試樣之后，再發射過程還延續一段時間，這種再發射的光稱為磷光。

原子熒光分析儀分非色散型原子熒光分析儀與色散型原子熒光分析儀。這兩類儀器的結構基本相似，差別在于單色器部分。

原子熒光光譜儀

激發光源可用連續光源或銳線光源。常用的連續光源是氙弧燈，常用的銳線光源是高強度空心陰極燈、無極放電燈、激光等。連續光源穩定，操作簡便，壽命長。常用的是光電倍增管，在多元素原子熒光分析儀中，也用光導攝象管、析象管做檢測器。檢測器與激發光束成直 角配置，以避免激發光源對檢測原子熒光信號的影響。