半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱(chēng)電子氣體。按其門(mén)類(lèi)可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類(lèi)。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級(jí)。

近幾年來(lái)，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。據(jù)了解，我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純氨改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無(wú)貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純已成功打開(kāi)。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級(jí)等.

其中六氟化硫、電子級(jí)、、磷烷使用較多。

氣 氣 高純氣體 高純氣 氣多少錢(qián)一瓶 除氦氣外，也可以用于配制深水作業(yè)用的呼吸混合氣。

通常，在潛水員處于深水高壓環(huán)境作業(yè)時(shí)，若采用普通壓縮空氣供氧，不但呼吸阻力高，而且壓縮空氣中的氮會(huì)部分溶解在血液中，當(dāng)水深在40m以下時(shí)，會(huì)產(chǎn)生顯著的作用，在80m左右，生理機(jī)能基本喪失，人體衰竭。

由于輕氦族氣體（如氦、）對(duì)人體的能力很小或完全沒(méi)有能力，可以用它們來(lái)代替氮配制潛水員深海作業(yè)用呼吸混合氣。-氧或氦-氧呼吸混合氣由于有較低的密度和黏度，使壓力易于釋放，呼吸阻力減小，能有效地降低潛水員的體能消耗。對(duì)于氦-氧呼吸混合氣，由于聲速較高，聲音頻率改變大，存在深水通訊問(wèn)題。再者，氦的執(zhí)導(dǎo)率高，增加了人仃熱損失率，以至于常常必須使用有效的潛水衣和呼吸氣預(yù)熱器。在這方面，-氧呼吸混合氣比氦-氧呼吸氣好，因?yàn)樗哂新曇艋冃『蛡鳠嵝圆畹膬?yōu)點(diǎn)。-氧呼吸混合氣適用于100-300m深水作業(yè)，超過(guò)300m，的密度增大，必須使用氦-氧呼吸混合氣。氦-氧呼吸氣已成功地在深海潛水作業(yè)，無(wú)論水深水淺，普遍采用氦-氧呼吸混合氣。為了克服各自的缺陷和不足，正在研究采用、氦、氧按不同比例配制深海潛水呼吸氣的可能。

氦氣在半導(dǎo)體、液晶面板和光纖線(xiàn)制造中起著重要作用，可實(shí)現(xiàn)零部件的快速冷卻，從而提高生產(chǎn)率，還能控制熱傳遞速率，以改善生產(chǎn)效率并減少缺陷；此外，氦氣還可在生產(chǎn)過(guò)程中充當(dāng)載運(yùn)氣體。

作為磁共振和超導(dǎo)磁體的理想冷凍氣體，氦氣可實(shí)現(xiàn)-451華氏度的深冷溫度，有效獲取內(nèi)臟和組織的高分辨率圖像。

氦氣在電弧溫度條件下的惰性使其成為鋁、不銹鋼、銅和鎂合金等高導(dǎo)熱性材料焊接的理想氣體，還可用作熱處理過(guò)程中的淬火氣體以及熔爐氣體，提升零件耐性和質(zhì)量

高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類(lèi)別的氣體，純度指標(biāo)不同。

例如對(duì)于氮，氫，，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；

而對(duì)于氧氣，純度為99.99%即可稱(chēng)高純氧；

對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。

高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。