單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統中，氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂的過濾器向室內送風。

光學微電子行業凈化工程設計方案分析：對于常規電子廠房潔凈室空調的設計，應根據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案，以滿足生產工藝的要求作為前提。根據以往經驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機+FFU。總之，具體的方案選擇根據具體情況而定。

無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A型級別。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A型級別，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

在進行潔凈室凈化工程的平面布局時有必要契合國家的現行標準中有關安全出產、消防、環保和工作衛生方面的各種要求；在進行潔凈室凈化工程平面布局時應充分考慮、物流的安排．極力做到短捷、流暢。在空間規劃時應分考慮產品出產過程和潔凈室凈化工程裝飾內各種管線、物流運送的合理安排。在確定潔凈廠房的平面、空間安置后，對潔凈室凈化工程規劃涉及的各個提出規劃內容、技能要求及規劃中應留意的相關問題。