真空設備檢漏

聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發聲地點。由于檢測環境條件不同，所得到的結果可能偏差很大。因此，這種方法的穩定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。

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真空設備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。注意不可以直接將氣體排在檢漏位置，因為這樣會造成本底污染，使得后面的檢漏無法進行。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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如何正確使用氦氣檢漏設備？

檢漏試驗中的可檢測泄漏率與檢漏氣體的背景濃度有很大關系，背景濃度越高，波動越大。如果泄漏測試后泄漏檢測氣體排放到泄漏檢測區域，背景濃度將在整個工作日持續增加。這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。此外，在加注或排放過程中，確保沒有氣體溢出，并定期檢查連接件是否有泄漏。如果檢漏氣體泄漏氦和氫，它將像氣球一樣飛到檢漏區的室頂，并逐漸漂浮在整個檢漏區。因此，應該為泄漏測試區域提供足夠的通風。由于兩種泄漏檢測氣體都傾向于向上移動，因此建議從底部輸入新鮮空氣，從頂部向外排放氣體。

氫氣檢漏法在制冷、空調的應用和展望

今天，在世界各地許多制冷、空調客戶正在使用各種不同型號的氫氣檢漏儀。基于其在處理環境中背景氫氣濃度方面所擁有的特殊技術，氫氣檢漏儀具有非常可靠的敏感度和測量指示。氫氣檢漏法的基本原理氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。氫氣檢漏儀可以為您帶來傳統檢漏無法滿足的更靈活的檢漏解決方案。例如：客戶可以先使用壓降法檢查是否存在泄漏，之后再使用氫氣檢漏儀查找出泄漏位置。客戶也可以直接使用氫氣檢漏儀進行高靈敏的檢漏以避免溫度變化帶來的對壓降法檢漏的影響。