高光氧氣凈化器用高能量的紫外線紫外光分解空氣中的臭氧分子產生自由氧，即活性氧物種，與電子正電子不平衡，由游離氧需要與氧氣結合，產生臭氧。機組應正確使用噴淋廢氣處理設備,并對噴淋廢氣處理設備的使用和維護過程中的噴淋廢氣處理設備的設計和制造單位提供反饋。輕氧氣體凈化器的工作原理：有足夠的能量產生自由基，引發了一系列復雜的物理化學反應。臭氧發生器效應引起的氣體有機化學反應是在氣相電離、解離、激發、原子與分子相互作用的組合和加成反應中進行的。這種能量足以使氣態有機物破壞化學鍵，使之退化。

廢氣處理設備在使用時應該注意的事項：

廢氣處理設備使用前應檢查設備各系統管道閥門是否完好，吸收液藥劑選用和配比是否正確。

廢氣處理凈化的風機與水泵接線不能隨便亂動，應能保證它們的轉向正確。

廢氣凈化處理設備運行交付后，使用單位應派專人保管使用，定期檢查。

廢氣凈化處理設備安裝在室外，水泵風機電機應制作防雨罩，以免電機受潮。

廢氣凈化液的更換及配用：對凈化吸收液的配方配比是根據用戶單位的氣體源不同，濃度高低來決定的。

廢氣處理的溶劑吸收法的優點在于對處理大風量、常溫、低濃度有機廢氣比較有效且費用低，而且能將污染物轉化為有用產品。對于噴淋操作中的廢氣處理設備，要加強維護、檢查監控，調整潤滑狀態，才能有效地維護噴淋廢氣處理裝置的各項功能,延長檢修間隔,減少檢修工作量。但溶劑吸收法仍有不足之處，由于吸收劑后處理投資大，對有機成分選擇性大，易出現二次污染。因而在處理VOC時需要選擇多種不同溶劑分別進行吸收，較大增加了成本與技術復雜性。另外，有機物在吸收劑中的溶解度、有機廢氣的濃度、吸收器的結構形式，如填料塔、噴淋塔，液氣比、溫度等操作參數等均為吸收法的影響因素，任何一項發生改變將或多或少影響到吸收法效用。

燃燒法是指VOCs氣體在高溫和充足空氣下進行完全燃燒，分解成CO2和H2O。工業廢水污染治理應實現以下5個方面的轉變和發展，即處理模式從不同種類廢水混合收集集中處理向分類收集分別處理優先轉變。在處理石化、印刷、油漆生產和制藥等生產工藝產生的高濃度VOCs氣體時具有很高的效率。但如果廢氣中還有氯、硫和氮等元素，燃燒后會產生有害氣體，造成二次污染。燃燒法包括直接燃燒法、催化燃燒法、熱力燃燒法。熱力燃燒法指在處理低濃度廢氣時，還需加入助燃氣體來提升溫度，達到去除目的。