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由于磁懸浮軸承技術具有無摩擦、率、高精度、長壽命、低噪音、無油污等突出優點，一旦實現產業化，將成為能源、節能減排、真空機械等重大戰略領域的技術。 針對這一科技創新成果，在磁懸浮分子泵領域打破國外的技術壟斷，提高了國內真空分子泵的技術水平，推動分子泵產品向應用發展，同時也為磁懸浮軸承的工業化進展開拓探索一條技術開發路線，為進一步推廣磁懸浮軸承大規模應用提供了實際經驗。

分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為： 　（1)牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口，分子泵。 　（2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。

復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。分子泵牽引分子泵是氣體分子與高速轉動的轉子相碰撞而獲得運動的動能，被送到出口的一種動量傳輸泵。它的特點是起動時間短，在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。

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在正常工作時，可把水溫調節到略高于來消除泵體外部可能形成的冷凝物。

啟動系統要先接通冷卻水流，打開前級管道閥門，再同時啟動機械泵和渦輪分子泵。在泵加速到額定轉速（一般為5到10min）后，就可加注液氮冷阱。此后就可按上節所介紹的步驟對真空室進行抽氣。所給出的不用高真空閥門的抽氣系統的操作，要比有閥門的抽氣系統簡便得多。操作時，先打開冷卻水和前級管道閥，并同時啟動機械泵和渦輪分子泵。如粗抽泵選擇得當，使真空室的粗抽時間等于加速時間，那么真空系統就能在沒有泵油蒸氣返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

1-檢漏接口閥；2-渦輪分子泵；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-真空管路閥；7-電磁放氣閥；8-機械泵。圖2 不用閥門的渦輪分子泵抽氣系統無閥門系統在放氣和停機時，首先關閉前級管道閥，等泵轉速下降到很大轉速的50%時再在泵的上方充入干燥氣體。當系統充到大氣壓時應關閉放氣閥門，否則會造成真空室過壓。然后按上述介紹的方法關掉機械泵并停掉冷卻水。

沒有單設粗抽管路的渦輪分子泵系統的操作：先打開分子泵冷卻系統和前級管路閥，并同時啟動前級（粗抽）機械泵和渦輪分子泵。如果粗抽泵（前級泵）選擇得當，使真空室的粗抽時間等于分子泵的加速（啟動）時間，則真空系統就能在沒有泵油蒸汽返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

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在潤滑方面，配備一種新型潤滑劑，具備更高的抗老化性、更優化的潤滑性能和更強的耐熱性，進一步提升真空泵組的安全性能，而且各款泵均可免維護運行5年。渦輪分子泵應用于鍍膜機渦輪分子泵應用于鍍膜生產線，客戶某透明玻璃投射電容技術元件及模組生廠商,產品玻璃觸控模組,廣泛應用于智能手機中.愛發科渦輪分子泵1500U配置于該企業鍍膜生產線中.

渦輪分子泵1500U技術參數

壓縮比

Ar:>1X108

H2:6X103

He:2X105

N2:>1X108

抽速

Ar:1350l/s

H2:1150l/s

He:1350l/s

N2:1400l/s

進氣口

DN250-ISO-K

極限真空重量

29KG

渦輪分子泵1500U抽速:渦輪分子泵1500對各種氣體均有高抽吸能力,高工藝適用性,防止進入顆粒.集成驅動電路,適用于工業環境,通過保護等級IP54.帶有氣體密封閥24VDC的集成型氣體密封系統.渦輪分子泵1500搭配控制器TC1200,通訊接口RS-485,遠程遙控（Profibus/DeviceNet型號供選擇）,多種配件供客戶選擇.

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