廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵維修中心 阿爾卡特真空泵維修

法國Alcatel阿爾卡特真空泵，是一個國際性的真空泵品牌，為客戶提供真空泵、檢漏儀、真空計以及微加工系統等。阿爾卡特的機械泵（油潤旋片泵、干式真空泵），抽速從0.5L/S到30L/S，廣泛應用于撿漏、冷凍干燥、化工分餾、微電子工業、分析儀器、冰箱空調生產線等各種行業。阿爾卡特真空泵維護

真空泵的市場發展速度可以用日新月異來形容，幾乎每時每刻都在根據用戶需求的變動而動態變化著。真空泵市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展、真空泵技術不斷革新以及真空泵應用領域的日益擴大。阿爾卡特真空泵維修

真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等領域，近年來，隨著冶金、化工、食品等行業的快速發展，真空泵的市場也增長迅速。

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵維修中心 adixen ATH400M分子泵維修

羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優異的高真空性能，同時在中真空范圍也有超qiang的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前wei一兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。adixen ATH400M分子泵維修

分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經過時間壓力降低一個數量級的規律，因此機組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優勢。

氦質譜檢漏儀以氦氣作為示漏氣體，性能穩定，靈敏度高，是專門用于真空檢漏的質譜分析儀器，廣泛應用在航天、電力、石油、環保等領域。復合分子泵作為真空獲得設備，是氦質譜檢漏儀的關鍵部件，其抽氣性能直接影響檢漏儀的檢測性能。國內復合分子泵的研制起步較晚，與國外產品有一定差距，尚未研制出氦質譜檢漏技術中使用的多口復合式分子泵。adixen ATH400M分子泵維修

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵維修中心 磁懸浮渦輪分子泵維修

含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導體制造設備，在集成電路刻蝕等工藝過程中，部分工藝氣體容易冷卻凝結，附著在分子泵轉子及內壁，造成分子泵轉子不平衡量增大或抽氣通道阻塞，影響分子泵的穩定運行。加上加熱模塊可以適當提高泵體溫度，降低工藝氣體凝結，提高分子泵穩定性及壽命。 磁懸浮渦輪分子泵維修

我們所稱呼的“質譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核xin部分。氣體從檢漏 儀的入口被導入質譜儀單元。在這里用高能量的電子束對帶電的氣 體粒子進行撞擊 電子束利用金屬絲在高溫下產 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊，它會從電子層脫出。結 果，帶正電的氣體粒子—離子—留了下來。大部分導入的氣體粒子被電子之間的碰撞電離。 磁懸浮渦輪分子泵維修

分子泵的工作區間是有限制的，*大啟動壓強也要在100pa，直接大氣啟動只會長期處于過載狀態運行，并無抽氣效果。 磁懸浮渦輪分子泵維修

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