檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。

真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，

隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。

蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。為了使用方便和真空工藝過程的需要，將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應(yīng)用。真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。