廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等，主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修，氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等，干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。

集中供氣系統(tǒng)又稱中央供氣系統(tǒng)(Central Gas Supply System)，是一種越來(lái)越普遍被人們采用的一種供氣方式。

廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等，氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質(zhì)輸送、控制系統(tǒng)集成，以及實(shí)驗(yàn)室搭建和無(wú)塵潔凈室建設(shè)工程總包服務(wù)商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修，干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。

基于管道中氣體流動(dòng)的穩(wěn)態(tài)模型,根據(jù)對(duì)溫度的處理方式,分別提出氣體管道泄漏定位的等溫定位法和變步長(zhǎng)龍格-庫(kù)塔法。通過(guò)實(shí)際氣體管道泄漏的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證對(duì)模型法的應(yīng)用場(chǎng)合進(jìn)行了分析,并對(duì)兩種方法的定位效果進(jìn)行了對(duì)比。通過(guò)非等溫氣管道泄漏的仿試驗(yàn),對(duì)溫差大小、氣體特性估算的準(zhǔn)確度和算法中模型的簡(jiǎn)化程度對(duì)定位效果的影響進(jìn)行了研究。仿研究表明,管道兩端氣體特性估算的準(zhǔn)確程度決定了算法的定位精度,而算法中的管道模型可以進(jìn)行適度的簡(jiǎn)化。

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2.系統(tǒng)檢測(cè)

特氣管道施工結(jié)束后都需要進(jìn)行壓力檢測(cè)，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測(cè)試。壓力檢測(cè)一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測(cè)儀或電子檢測(cè)儀，不用壓力表。這樣大大提高了檢測(cè)的精密度。水、氧測(cè)試采用水氧分析儀;顆粒度測(cè)試目前基本采用激光顆粒測(cè)試儀，精度達(dá)到0.1微米;而對(duì)要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)(CNC)它可達(dá)到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測(cè)試根據(jù)具體要求確定。

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對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒(méi)有三通。管道還要有良好的接地。