區域提純后的金屬鍺,其錠底表面上的電阻率為30～50歐姆 厘米時，純度相當于8～9，可以滿足電子器件的要求。但對于雜質濃度小于[KG2]10原子/厘米[KG2]的探測器級超純鍺，則尚須經過特殊處理。

由于鍺中有少數雜質如磷、鋁、硅、硼的分配系數接近于1或大于1，要加強化學提純方法除去這些雜質，然后再進行區熔提純。電子級純的區熔鍺錠用霍爾效應測量雜質（載流子）濃度，一般可達10～10原子/厘米。經切頭去尾，再利用多次拉晶和切割尾，一直達到所要求的純度（10原子/厘米），這樣純度的鍺（相當于13）所作的探測器,其分辨率已接近于理論數值。主要有四種提純方法在試驗室中使用，即真空熔融，真空蒸餾或升華，電遷移和區域熔煉。

工業上大量使用的是工業純稀土金屬，較高純度的稀土金屬主要供測定物理化學性能之用。主要有四種提純方法在試驗室中使用，即真空熔融，真空蒸餾或升華，電遷移和區域熔煉。 稀土金屬棒在區域熔煉爐中以很慢的速度（如提純釔時為0.4毫米/分），進行多次區熔，對去除鐵、鋁、鎂、銅、鎳等金屬雜質有明顯效果，但對氧、氮、碳、氫無效。日本的科學家采用Bizo作為添加劑，Bi2O3在820Cr熔化，在l500℃的燒結溫度超出部分已經揮發，這樣能夠在液相燒結條件下得到比較純的ITO靶材。此外，電解精煉、區熔－電遷移聯合法提純稀土也有一定效果。

中國的貴金屬工業由于較長時期處于國家計劃經濟體制，因此發展比較緩慢，特別是鉑族金屬起步更是比較晚，工藝技術比較落后，國內資源更是匱乏，直到改革開放以后，以上海黃金的開業為標志，在這三十年里，才得到了迅速的發展，出現了現貨、紙黃金、紙白銀等等的交易模式，為投資者開打了通往財富的大門，更多的開辟了就業渠道，同時鉑族金屬的生產加工企業和流通領域的企業也似雨后春筍，蓬勃發展，使中國成為很大的的鉑族金屬進口和消費國。在貴金屬深加工產品這一領域，如何來提升貴金屬產品的技術含量和檔次，貴金屬納米技術、納米材料的科學研究，實踐應用是這個產業向產業化發展的方向，成為當代關注和競爭的主要課題。

燒結法：ITO靶材燒結制作法是在以銦錫氧化物共沉淀粉末或氧化銦和氧錫混合粉末為原料，加入粘結劑和分散劑混合后，壓力成型，脫脂，然后于1400℃---1600℃燒結。燒結法設備投入少，成本低，產品密度高、缺氧率低，尺寸大、但制造過程中對粉末的選擇性很強。因此，對于使用微細色粉的高畫質復印機和打印機用輥筒，特別是色粉供給輥，要求更細的微孔。

ITO靶制備的透明導電薄膜廣泛應用于數碼相機、投影電視、數碼顯示的各種光學系統中，全球需求量都很大。