渦旋真空泵的結構特點

渦旋真空泵主要由5 個部件組成：

（1）動靜渦旋盤副與基座；一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯, 兩者之間保證180°相位差組成的一對渦旋盤副機構。

（2）曲軸：保證動渦旋盤繞靜渦旋盤轉動的偏心機構。

（3）密封件：保證動、靜盤的端面齒頂密封等的密封裝置。

（4） 防自轉機構：保證動、靜盤180°相位差的機構。

（5）電機：輸出約1500r/min的動力機構。

它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結構簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低。采用空氣冷卻，無需水冷。

渦旋真空泵的應用領域

渦旋泵已被廣泛應用于諸多領域:

品行業：升華、干燥、脫水、真空蒸發、真空保鮮、真空包裝等。

科研院所：旋蒸、蒸餾、精餾、聚合、負壓抽濾、真空干燥、中試裝置、風洞試驗、真空環境模擬等。

電子光伏：浸漬、真空鍍膜、離子刻蝕、分子束外延等。

航天航空：釬焊、真空鍍膜、電子束焊、風洞試驗、空間環境模擬等。

冶金行業：浸漬、擠出、真空鍍膜、離子刻蝕、泥料脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。

核工業：零泄露爪泵可抽除UF6氣體

渦旋真空泵組成與工作原理

無油渦旋真空泵由泵頭、電機、機座等構成。泵頭含有動、定渦旋盤、曲軸、密封件、風扇和泵殼等。渦旋盤為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋形盤壁組成，定渦旋盤與動渦旋盤組成渦旋盤付構成無油渦旋真空泵的基本抽氣機構。工作過程中動、定渦旋盤互不接觸，依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔，通過吸氣、壓縮、排氣的循環，使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，實現對被抽腔體抽真空。

主要用途

真空鍍膜機，分析測試儀器，真空排氣/回收裝置，真空爐，排氣臺，高能束線，等離子清洗，檢漏儀，真空包裝機，真空吸附搬運。