當(dāng)硅片經(jīng)清洗液處理后表面不沾水分子時稱為疏水處理，反之表面吸附水膜時為親水處理。純凈的硅片表面是疏水性的。從能量觀點(diǎn)看，疏水性表面屬低能表面,這時硅片表面張力r（SG）小于水分子表面張力r（SL）。親水性表面則屬高能表面,這時的硅表面張力r（SG）大于水分子表面張力r（SL）。由此可知，硅表面成為親水性的基本條件為A=r（SG）- r（SL）＞0

目前的PDMS芯片鍵合通常是采用PDMS與玻璃進(jìn)行鍵合的方式進(jìn)行，PDMS與玻璃之間的鍵合通常對于玻璃的材質(zhì)有要求且對玻璃表面的潔凈程度要求很高,如果玻璃材質(zhì)變化或者玻璃表面潔凈程度不夠均會導(dǎo)致鍵合強(qiáng)度不夠從而漏液。為實(shí)現(xiàn)良好的鍵合,在玻璃材質(zhì)的情況下對于玻璃的清洗要求也很嚴(yán)格,通常通過乙醇、去離子水超聲工藝以及等離子清洗等方式反復(fù)進(jìn)行，工藝繁瑣且造成資源浪費(fèi)。解決PDMS與玻璃鍵合過程中對于玻璃材質(zhì)的選擇問題，現(xiàn)有技術(shù)中主要采用的是PDMS與玻璃鍵合時采用鈉鈣玻璃進(jìn)行，對于石英、鋼化玻璃、ITO玻璃、 鍍有其他功能薄膜(Ag膜、Au膜等)等其他材質(zhì)的玻璃鍵合效果不理想，對于鍍有電極的玻璃如果電極面積占比較大也會導(dǎo)致PDMS與玻璃之間鍵合不牢固。

為了提高材料表面的親水性，應(yīng)用等離子體技術(shù)對材料進(jìn)行表面改性而提高其潤濕性；等離子表面清洗技術(shù)作為一種新型的材料表面改性方法，低能耗、污染小、處理時間短、效果明顯的特點(diǎn)引起了人們的關(guān)注。改性后疏水性材料表面的潤濕性得到了明顯改善，等離子清洗機(jī)是眾多的改性方法中，近年來發(fā)展較快的方法，與其他方法相比有很多優(yōu)點(diǎn)。

一、性質(zhì)不同

1、親水性材料：材料與水接觸時能被水濕潤的特性稱為親水性材料。

2、疏水性材料：該材料具有與水不能濕潤的性質(zhì)，當(dāng)該材料的濕潤角大于90時，稱為疏水性材料。

二、特點(diǎn)不同

1、親水性材料：分子具有極性基團(tuán)，對水有很大的親和力，能吸引水分子，或溶于水。由這些分子形成的固體材料的表面很容易被水潤濕。

2、疏水性：在復(fù)合絕緣子行業(yè)中，疏水性又稱潤濕性，由復(fù)合絕緣子（硅橡膠）外絕緣表面張力決定，表示水對復(fù)合絕緣子外絕緣的潤濕能力。

三、判斷方法不同

1、親水性材料：當(dāng)潤濕角小于等于90度時，水分子之間的內(nèi)聚力小于材料表面水分子之間的相互吸引。它是一種親水性材料。

2、疏水性材料：當(dāng)潤濕角大于或等于90°時，材料表面水分子之間的內(nèi)聚力大于水分子之間的相互吸引，為疏水性材料。