光學微電子凈化工程解決方案:

凈化工程的設計過程中，應加強對光學微電子行業凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況，同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。

無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A型級別。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A型級別，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

凈化車間潔凈度檢測時，使用光散射粒子計數器的取樣量：關于塵土粒子計數器檢測時的空氣取樣量，在國標GBJ73-84中規則：關于100級的凈化車間，每次取樣量應大于或等于1L，關于1000~10000級的凈化車間，每次取樣量應大于或等于0.3L，關于10000級的凈化車間，每次取樣量應大于或等于0.1L。關于100級凈化車間，宜選用大流量粒子計數器進行測試。