真空檢漏的具體方法為了方便說明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。(1)極限壓力合格,升壓率不合格極限壓力合格說明設(shè)備沒有明顯漏點，且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之間。

氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：原子能工業(yè)——氣體擴散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上， 由近而遠的順序進行。氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個數(shù)量級。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應(yīng)將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結(jié)果，因此，測試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。可先用氮氣或其它惰性氣體將設(shè)備壓力提高， 然后用純氦氣或氦氣混合氣把測試設(shè)備的內(nèi)壓增加至測試壓力且 應(yīng)使設(shè)備內(nèi)部至少含有10%-20%的氦氣含量。