選擇氣體質(zhì)量流量控制器和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意什么?
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應(yīng)當(dāng)衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。
(2) 注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)
不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同,注意選擇適合自己的產(chǎn)品。質(zhì)量流量控制器(MFC)除耐壓之外,還有另一項(xiàng)工作壓力指標(biāo):工作壓差,即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差,選型時(shí)要注意,使用時(shí)也要注意。
(3) 注意選擇合適氣體、流量規(guī)格、精度和接頭形式和接口尺寸。
除了氣體種類,流量范圍外準(zhǔn)確度和接頭形式也很重要,常見的接頭形式有卡套接頭和VCR接頭,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法蘭接頭。具體接口尺寸需要根據(jù)流量范圍來(lái)定制。
氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作,MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò),即電磁閥漏氣。客戶應(yīng)用MFC時(shí), 無(wú)論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi), 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。
使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)
1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會(huì)阻塞傳感器和分流器, 導(dǎo)致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾裝置;
2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內(nèi)部會(huì)導(dǎo)致無(wú)法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置,假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應(yīng)用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 導(dǎo)致MFC通道毀壞, 因而在應(yīng)用腐蝕性氣體前, 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)開展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,還要使用惰性氣體對(duì)管路進(jìn)行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結(jié)束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會(huì)殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應(yīng)用強(qiáng)腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標(biāo)準(zhǔn)實(shí)際操作, 這樣有可能導(dǎo)致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預(yù)熱,保證MFC在不通氣時(shí),瞬時(shí)流量處于0的位置,如果不通氣時(shí),瞬時(shí)流量顯示有一定的數(shù)值,表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象,可以先對(duì)MFC進(jìn)行調(diào)零處理,否則將影響MFC的精度。
氣體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)
利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí),發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD,一只用來(lái)做熱源,一只用來(lái)測(cè)量流體溫度,當(dāng)流體流動(dòng)時(shí),兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系,再通過(guò)微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。
采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù),能實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量和控制,其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償,廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制