消費(fèi)者應(yīng)用這種氦質(zhì)譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產(chǎn)品擁有良好的應(yīng)用價(jià)值,在我國更多的產(chǎn)品漏率檢查之中原先更好的技術(shù)支持,因此氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢(shì)更保證了我國產(chǎn)品漏問題檢查的質(zhì)量。檢漏儀全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級(jí),儀器響應(yīng)快,
氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸,防止因儀器長時(shí)間清除不掉氦影響而延誤測(cè)試。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的,所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會(huì)使泄漏孔暫時(shí)阻塞而影響檢測(cè)結(jié)果,因此,測(cè)試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風(fēng)裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域:電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng);電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路;
質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng),快速有效地清除超標(biāo)的氦本底,保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度,保證了工件檢測(cè)的精度;
檢漏步驟為:極限壓力、升壓率都不合格這種情況通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的較大漏點(diǎn),檢漏步驟為: .1.用內(nèi)徑0.5mm左右的針頭從機(jī)械泵到爐體快速的噴吹一遍,會(huì)很快發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn),這時(shí)發(fā)現(xiàn)的漏點(diǎn)都較大,然后應(yīng)立即焊接處理或用封泥封堵,- 旦封堵成功,真空度和檢漏儀靈敏度會(huì)明顯提高。2.第二遍檢漏,進(jìn)行第二遍檢漏時(shí)速度要較遍慢些, 重點(diǎn)檢查表面不規(guī)整的焊口、法蘭接縫處、動(dòng)密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。