氣體管路施工技術(shù)要求及驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)？
技術(shù)要求
(1)總體設(shè)計(jì)：管道采用1/4”外徑，經(jīng)過AP處理的高等級(jí)潔凈不銹鋼管道。所有集中在氣瓶柜的管路有適當(dāng)?shù)穆窂竭M(jìn)入各實(shí)驗(yàn)桌，在使用儀器的附近接氣體考克。
(2)管路設(shè)計(jì)、規(guī)劃要點(diǎn)：
氣體管路系統(tǒng)應(yīng)具有良好的氣密性，可靠性，可維護(hù)性。
1、氣瓶閥出口為GB標(biāo)準(zhǔn)的外螺紋形式，為了便于管路系統(tǒng)與氣瓶連接，故從氣瓶閥出口到管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有轉(zhuǎn)換接頭(氣瓶接頭)。
2、為了方便更換氣瓶，從上述氣瓶接頭到調(diào)節(jié)閥之間應(yīng)設(shè)有耐高壓的不銹鋼螺旋管。
3、由于氣瓶?jī)?nèi)部的氣體壓力為150Bar左右，使用點(diǎn)的壓力較小，氣體壓力有變化，而且數(shù)值差距較大，故應(yīng)在氣瓶出口處設(shè)置一級(jí)減壓閥(雙表頭)。
4、氣路系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)有在緊急情況下能夠快速切斷供氣的裝置—開關(guān)閥，為了開關(guān)系統(tǒng)的方便和快捷，本項(xiàng)目中開關(guān)閥采用球閥。
5、為了保持氣體的純度及管道系統(tǒng)的氣密性，所有管道采用進(jìn)口316L不銹鋼管道，內(nèi)表面按規(guī)定處理。
6、管道與閥件的連接，管道與管道的連接應(yīng)保證系統(tǒng)的氣密性，同時(shí)要便于維修及更換閥件。
7、管道固定件要求堅(jiān)固，輕巧，耐用。
實(shí)驗(yàn)室氣體管道供氣系統(tǒng)
實(shí)驗(yàn)室氣路安裝指實(shí)驗(yàn)室氣體工程，即從氣瓶至儀器終端之間連接管線，JHP一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成。目前主流氣路編排主要為實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)。
公司提供全i方位的實(shí)驗(yàn)室氣體管道供氣系統(tǒng)，滿足不同實(shí)驗(yàn)的用氣要求與安全。采用匯流排供氣設(shè)備，進(jìn)行雙瓶帶手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)切換功能，帶有低壓報(bào)警裝置，實(shí)時(shí)監(jiān)控氣體壓力，濃度偵測(cè)報(bào)警和排風(fēng)，保證客戶正常用氣需求和生命財(cái)產(chǎn)安全。
各種氣體配管配件要求
在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對(duì)氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量、露i點(diǎn)的要求也越來越高。
高純氮?dú)?PN2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
氮?dú)?N2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。
高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。(Ar)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
氦氣(He)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
特氣系統(tǒng)：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內(nèi)管電解拋光(EP)，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
對(duì)于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來是一機(jī)臺(tái)配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費(fèi)用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內(nèi)，存在著泄漏的安全隱患。實(shí)驗(yàn)室是一個(gè)特殊的工作區(qū)域，從安全、經(jīng)濟(jì)社會(huì)效應(yīng)及實(shí)際使用效益角度考慮，形成系統(tǒng)的供氣迫在眉睫，實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的安全系數(shù)應(yīng)通過集中供氣來實(shí)現(xiàn)，氣瓶供氣已逐步淘汰。現(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng)，氣柜集中，自控系統(tǒng)不斷完善，其報(bào)警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對(duì)房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。