氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器;真空系統-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離?？照{檢漏設備真空系統檢漏中不論是采用哪種氣泡檢漏法，應用中需要注意：1、示漏氣體的種類與壓力會影響檢測靈敏度。子檢測器的作用是手機質星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入?？障到y-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。漏孔可以將漏液以非常緩慢的速度送到泄漏處的表面，以致于液體在到達物體外部的表面時，即被蒸發。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦檢漏設備

氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，廣泛地用于各種真空系統及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲顯著減小.其靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統特點真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統1．配置與氣路控制真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。逆流氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。

氦檢漏設備

氦罩法

在這種方法中，用塑料薄膜包裹被測容器，首先除去罩子中的空氣，然后充入氦氣或氦氣混合氣體，檢漏儀與被測容器的內部連接，當檢漏儀顯示泄漏率時，指示泄漏。這個泄漏率稱為總泄漏率?？傂孤┞适撬行孤┞实目偤汀Ｈ绻傂孤┞什怀^標準值，則每個泄漏率不超過標準值；如果總泄漏率超過標準值，檢查每個點的泄漏率是否超過標準值。設備到貨后，供方在7天內盡快安裝完成，并由用戶進行水、電、氣等的配套安裝之后，供方再對設備進行調試。然后調整修改超過標準值的泄漏孔，直至達到合格標準。