檢漏步驟為:極限壓力、升壓率都不合格這種情況通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的較大漏點(diǎn)，檢漏步驟為: .1.用內(nèi)徑0.5mm左右的針頭從機(jī)械泵到爐體快速的噴吹一遍，會(huì)很快發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)，這時(shí)發(fā)現(xiàn)的漏點(diǎn)都較大，然后應(yīng)立即焊接處理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會(huì)明顯提高。2.第二遍檢漏，進(jìn)行第二遍檢漏時(shí)速度要較遍慢些， 重點(diǎn)檢查表面不規(guī)整的焊口、法蘭接縫處、動(dòng)密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。

測(cè)試時(shí)，將定量的氦氣噴吹在懷疑可能泄漏的部位，通過(guò)觀察檢漏儀上的漏率顯示來(lái)確定該部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系統(tǒng)比較龐雜，影響真空的因素多，對(duì)此我們?cè)谠囼?yàn)前，應(yīng)先根據(jù)真空嚴(yán)密性的試驗(yàn)情況、相關(guān)系統(tǒng)及設(shè)備的運(yùn)行情況、機(jī)組的檢修情況等進(jìn)行了解分析，初步判斷真空泄漏可能發(fā)生的設(shè)備或系統(tǒng)管道的位置。然后，在試驗(yàn)過(guò)程中先對(duì)重點(diǎn)懷疑泄漏部位進(jìn)行檢查，再對(duì)其他部位按照分系統(tǒng)、分段、逐個(gè)設(shè)備部件進(jìn)行排查。

對(duì)檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；能無(wú)損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。