5分鐘前 衢州半導體清洗設備價格免費咨詢「蘇州潤璽」[蘇州潤璽f9f1caf]內容:使用過程產品: AquaVantage 815 GD濃度: 10%溫度: 131-140°F (55°C)設備: 2 套單獨的清洗流程, 200L 超聲波設備, 4000L 浸沒設備。沖洗: 3 個階段: 自來水, 去離子水以及終的去離子水. 所有的沖洗需要在接近 22 – 25°C的環境進行.通過一個閉環去離子水系統(水通過去離子水床的連續循環),終的沖洗被控制在至少4兆歐姆的電阻率。結論: 具有持續良好的清潔能力 。BHC 的優勢: 的排氣性能和清洗部件能力。使用BRULIN815GD清洗的半導體設備零部件,為更好地去除水分和揮發極低的有機物,要需零部件進行后處理:在惰性氣體、真空度為0.13Pa、設定溫度為500K(227°)的烘烤箱進行烘烤,進行裝配。
泛半導體工藝伴隨許多種特殊制程,會使用到大量超高純(ppt 級別)的干濕化學品,這是完成工藝成果的重要介質,其特點是昂貴并伴隨排放。在集成電路領域,高純工藝系統主要包括高純特氣系統、大宗氣體系統、高純化學品系統、研磨液供應及回收系統、前驅體工藝介質系統等。其中,各類高純氣體系統主要服務于幾大干法工藝設備,各類高純化學品主要服務于濕法工藝設備。