蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。
為了使用方便和真空工藝過程的需要，將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態。
處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應保持地基水平，
結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個很大的范圍，
檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。真空泵應安裝在地面結實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養。如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。
真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應保持地基水平，
隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。