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給出不單獨設置粗抽管道、不設置高真空閥門的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)，這個系統(tǒng)的真空室是直接通過渦輪分子泵進行粗抽的。因為系統(tǒng)上沒有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而帶來的污染和切換區(qū)域不適當?shù)葐栴}。從結(jié)構(gòu)上看，系統(tǒng)也變得更簡單了。它沒有粗抽閥、管道和冷阱，也不需要高真空閥，只需要一個電離規(guī)和一個熱傳導規(guī)。

每當打開真空室暴露大氣時，就必須把整個系統(tǒng)停機，而后再重新啟動。這就使得液氮冷卻表面使用起來不方便，因為每當系統(tǒng)停機時，必須將冷卻表面升溫。1-檢漏接口閥；2-渦輪分子泵；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導規(guī)；6-真空管路閥；7-電磁放氣閥；8-機械泵。圖2不用閥門的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)同時，啟動渦輪分子泵和機械泵，通過渦輪分子泵進行粗抽，必須正確選配前級機械泵。

如果機械泵的抽速小，它是不能在渦輪分子泵達到很大轉(zhuǎn)速以前把真空室抽到過渡區(qū)的。當出現(xiàn)這種情況時，電動機的過流保護電路就會把渦輪分子泵關掉。抽速大小合適、運轉(zhuǎn)適當?shù)臋C械真空泵應該是在渦輪分子泵達到其額定轉(zhuǎn)速的75%左右時就能把真空室抽到20~200Pa，這樣也可防止機械泵油的返流。大多數(shù)渦輪分子泵所設計的啟動加速時間為5~10min。

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分子泵機組耗電：

2.38kW×6720h=年耗電15993.60度×1元/度

=15993.60元原來的耗電：

8.8kW×6720h=年耗電59136度×1元/度

=59136元通過上述計算，幾乎當年就能從電費一項收回投資費用：

59136-15993.60=43142.40元

第二年使用分子泵機組電費節(jié)約贏利43142.40元。

該分子泵近乎免維護，所以如果考慮維護費用，經(jīng)濟效益更可觀。該分子泵替換運用的成功，為節(jié)能減排貢獻巨大力量，做到了制造應用與雙贏，并且拓展了分子泵的應用領域。其他好處除了節(jié)省成本以外，通過對分子泵替換的圓排車所制造的節(jié)能燈進行測試，燈具在產(chǎn)品壽命和質(zhì)量上也得到明顯提高，通過質(zhì)譜分析，系統(tǒng)的油污染得到降低，光譜等分析都顯示，應用分子泵排氣制造的燈具性能有很大的改善。

與此同時，根據(jù)在其他多家特種燈（金鹵燈、航標燈等）、車燈、半導體照明燈客戶的實際應用反饋，分子泵對降低生產(chǎn)能耗、提高產(chǎn)品性能和使用壽命等方面都起到明顯的促進作用。在部分國內(nèi)外愛發(fā)科的照明生產(chǎn)企業(yè)中的應用，分子泵都得到好評和大量替換配套。結(jié)語通過這個案例可以看出，將高壓強分子泵機組直接用到圓排機上，實現(xiàn)了降耗節(jié)能、保證質(zhì)量的目標，完全可以替代。

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噪音測試通過在以下12種不同運行狀態(tài)和方向下對一批泵進行一系列測試，來驗證泵噪音：垂直、水平和翻轉(zhuǎn)位置；高溫和低溫；全速和低速。在正常運行狀態(tài)下，168次測量得到的平均噪音為41dB(A)+/-3σ。包裝測試通過對帶包裝的泵進行測試來驗證包裝性能，在測試時，使帶包裝的泵從96厘米/37.8英寸的高度以各種角度跌落18次。確保在運輸過程中不會因跌落或運輸而損壞。

無論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來看，重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術的發(fā)展源源不斷地給半導體行業(yè)注入嶄新活力。真空技術作為一門與應用科學緊密結(jié)合的現(xiàn)代基礎科學，在半導體行業(yè)有著廣泛的應用。其中，分子泵作為很多半導體制造設備的零部件之一，廣泛應用于IC生產(chǎn)制造的各個工藝。

下面小編就帶您走進半導體產(chǎn)業(yè)鏈，并一起探索分子泵在半導體行業(yè)的應用。半導體產(chǎn)業(yè)鏈包括上游的半導體支撐產(chǎn)業(yè)，中游的半導體制造產(chǎn)業(yè)以及下游的半導體應用產(chǎn)業(yè)。半導體支撐產(chǎn)業(yè)包括半導體材料及設備，其中真空產(chǎn)品主要在半導體設備領域應用；中游半導體制造的是集成電路制造，包括IC設計、IC制造以及IC封測；下游的半導體應用領域眾多，半導體應用領域的行業(yè)是通信及智能手機、PC/平板、工業(yè)/。

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近日，真空推出了一款新型渦輪分子泵，便是對此交出的一份答卷。這款分子泵的壽命更長，而且采用了該公司開發(fā)的一項技術，使得真空設備更加耐用，振動水平更低，噪音更小。真空的渦輪分子泵.具體來講，通過分配幾何確定的動平衡孔和漸近的動平衡配重法，利用激光燒蝕把多余的材料去除，如此一來，轉(zhuǎn)子的不均勻質(zhì)量分布能夠在所有點位逐個進行的處理，來達到很佳的動平衡性。

與傳統(tǒng)動平衡相比，用激光去除材料要準確得多，剩余不平衡會更低。而且在這個過程中，材料特性并不會受到影響。可以說，改變了傳統(tǒng)的動平衡過程，將不均勻的質(zhì)量分布降到了很低。采用傳統(tǒng)動平衡（左）和采用激光燒蝕段的激光動平衡（右）動平衡等級對比.據(jù)了解，通過現(xiàn)代化的自動平衡系統(tǒng)，渦輪分子泵轉(zhuǎn)子的動平衡品質(zhì)提高了20%，從而大幅提高轉(zhuǎn)子壽命，并降低泵在運行期間的振動和噪音水平。

值得一提的是，激光燒蝕產(chǎn)生的顆粒，在加工過程中即可抽出和過濾掉，隨后對激光平衡后的轉(zhuǎn)子進行清潔，由于無需手動擰緊螺絲，所以確保了表面的很高清潔度，并且也避免了平衡孔中的氣穴造成的虛漏現(xiàn)象。因此，用技術加持的渦輪分子泵可以滿足更為苛刻的工作環(huán)境要求，尤其是在需要更低振動和靜音的應用中，該系列渦輪分子泵可以大大提升用戶體驗。

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