氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場(chǎng)所，連接好檢漏用管路及壓力表，應(yīng)將壓力表安裝在測(cè)漏容器的頂部便于觀察的位置。質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗(yàn)后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時(shí)校驗(yàn)。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：原子能工業(yè)——?dú)怏w擴(kuò)散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；

實(shí)驗(yàn)程序中明確規(guī)定了密封繼電器的檢漏條件及步驟，本次主要討論背壓法檢漏屬于檢漏步驟中的細(xì)檢漏。繼電器的背壓檢漏法一般分為三步: 1加氦壓:將被檢繼電器放入充氦的壓力罐中; 2凈化:從壓力罐中取出繼電器，用氮?dú)饬骰蛘呖諝饬鞔祪衾^電器表面吸附的氦氣。3檢漏:將繼電器放入檢漏儀的檢漏盒中進(jìn)行檢測(cè)，若繼電器有漏，壓入內(nèi)腔的氦氣會(huì)經(jīng)過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀，儀器上會(huì)有漏率顯示。

主要檢測(cè)范圍包括下面一些設(shè)備 部件:凝汽器及相連的負(fù)壓系統(tǒng)，包括凝汽器與汽側(cè)相聯(lián)設(shè)備管道，有二級(jí)旁路、三級(jí)誠(chéng)溫器、疏水?dāng)U容器、低加疏水、軸加疏水、空氣管道、給水泵密封水回水、真空破壞門(mén)、水位計(jì)等;低壓缸部分，包括低壓排汽、末級(jí)抽汽管道和加熱器部分，次末級(jí)抽汽管道和加熱器部分，低壓缸上方防爆膜及其結(jié)合面法蘭、低壓缸汽封以及接合面等:其他部分，包括真空壓力表頭、排汽缸溫度計(jì)套管、電接點(diǎn)水位計(jì)、疏水泵、凝結(jié)水泵機(jī)械密封等。