廣州潽拓光電科技有限公司——廣州Agilent分子泵

安捷倫真空推出了一款全新渦輪分子泵 TwisTorr 305，它繼承了安捷倫TwisTorr 系列分子泵超高真空、高壓縮比、全無油潤滑等優點，同時（參見文章：安捷倫TwisTorr超高真空渦輪分子泵特點介紹），還擁有諸多全新的特點（參見文章：新產品 | 安捷倫新型分子泵“新”在哪？），此外，TwisTorr 305 還是安捷倫采用全新設計和制造方法所推出的款真空產品。而廣州潽拓光電根據305產品特性研究，可以針對性的提供服務。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵清潔保養

高真空渦輪分子泵是什么？

渦輪分子泵是一種用來獲取高真空的真空泵，典型的工作壓力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在極限狀態下，可以通過它實現 0.00000001Pa（大氣壓的十萬億分之一）的超高真空。渦輪分子泵可以用于各類質譜儀（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、鍍膜機、電子顯微鏡（SEM、TEM）、聚焦離子束系統（FIB）、表面分析儀器，高能物理實驗裝置、粒子、高真空實驗裝置等諸多應用。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵清潔保養空擋滑行不可取

分子泵工作時轉速很高（數萬轉/分鐘），加減速過程中，不可避免的要經過某些危險的共振頻率，長時間在這些共振頻率運轉，會增加軸承負荷、進而增加分子泵故障的風險。在真空下自然停泵（空擋滑行）時，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉子要經過幾十分鐘甚至數小時的時間才能完全停止，其中在共振頻率運轉的時間也會比較長。一般建議分子泵停機時，手動或者通過充氣閥（Vent Valve），通過充氣口充入空氣/氮氣，增加轉子阻力使其快速停機；手動充氣時，要注意控制充氣速度，使停機時間和分子泵啟動時間相當（根據泵的大小不同而不同，一般為 3-10 分鐘）。

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渦輪泵以滿轉速持續運行。初始的磁場設置為 1mT ，泵在該磁場下運行 12 個小時以穩定轉子溫度；然后關閉磁場，再運行 12 個小時以使轉子降溫；然后再分別把磁場設置為 2mT，按照前面的步驟繼續進行測試，直至磁場增加到 7mT 。修復應用中使用技術，MACHINA 可以協助 OPD 實驗室內部藝術品的修復，由于一些尺寸較大或者極其精致的作品可能無法移動，它也可以被輕松移動到現場或者其他的實驗室和博物館。

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有下面這些異常一定要盡早檢修分子泵是高速旋轉的機械，軸承故障可能會造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態不良時，會有一系列的現象，如分子泵無法啟動，運行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環境和進排氣壓力過高等外界因素后，應盡快停泵，送到維修中心進行檢修。

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渦輪分子泵也是一種機械式真空泵，通過高速旋轉的多級渦輪轉子葉片和靜止葉片的組合進行抽氣的，在分子流區域內對被抽氣體產生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴散泵高，可達10^-8pa。正常工作時需要一定的前級真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200Pa之間，可采用機械泵作為前級泵，高真空機組是由分子泵和機械泵組成的。由于渦輪分子泵的轉速高，通常用中頻電機帶動，中頻電源的頻率在300-400Hz之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。

CombiNEG系列采用安捷倫科技（Agilent Technologies），StarCell離子泵抽氣單元和賽斯(Saes Groups)的燒結型非蒸散型吸氣劑（NEG）。安捷倫真空（原瓦里安真空）是離子泵，賽斯是NEG吸氣劑泵的始創者。兩家公司累計超過100年的真空經驗、各自的技術和緊密的合作是這一革命性的產品問世的基礎。

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分子泵：安捷倫TwisTorr渦輪分子泵采用獨有的AFS懸浮軸承技術，工作時振動非常低，被廣泛地應用在世界各地的眾多電子顯微鏡上。一個位于日本的業界，從2015年起，在其生產的電子顯微鏡上使用了1000多臺安捷倫分子泵，泵的可靠性非常接近，實測的振動水平低于0.01米/秒2，噪聲等級更是只有40dB(A)。

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當磁場逐步增加后，被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升，當磁場強度為 7mT 時，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度）。另外，KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場條件下轉子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時，低大約40度）。