濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。凈化工程的一般施工程序:粉塵作業,無塵作業后,不允許交叉作業。 否則會影響項目的質量。 也就是說,在完成所有粉塵產生操作之后,可以進行無塵操作。1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。
凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情,但今天凈化技術發揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著、精、尖方向發展,對凈化車間的依賴度也越來越高。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規范進行。凈化工程的步的關鍵是設計,工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩定性、可靠性、經濟性。
1級:塵埃易使芯片失效或者穩定性下降,當金屬塵埃落于集成電路上時,就可能造成短路。當空氣中的酸性離子落在電路上時,可能將電路腐蝕,因此凈化空調系統對微電子工業而言至關重要。此外,液晶、光纖的生產也需要1級潔凈度的要求。1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。凈化工程的等級劃分比較的嚴格,一般按照7個等級進行的劃分,分別是1級,10級,100級,1000級,10000級,100000,1000000級,凈化安全要求是根據等級來實施的,凈化工程等級數越小,級別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。