檢漏步驟為:若步驟1和2均未檢出漏點(diǎn)，就要考慮各個(gè)真空泵性能的問題，首要檢查機(jī)械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會(huì)大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機(jī)械泵的閥片,通過向機(jī)械泵排氣口噴吹氦氣來檢測(cè)其閥片的密封性。擴(kuò)散泵油或擴(kuò)散泵加熱器異常也會(huì)造成極限壓不合格。還應(yīng)檢查真空計(jì)是否準(zhǔn)確以及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是否滿足技術(shù)要求。

油箱試驗(yàn)件的細(xì)漏漏點(diǎn)采用正壓法檢測(cè)。試驗(yàn)時(shí)，向油箱 試驗(yàn)件內(nèi)部充入氦氣和壓縮空氣的混合氣體，使油箱內(nèi)部壓力大于外界大氣壓，如果有漏點(diǎn)存在，氦氣就通過漏點(diǎn)泄漏出來，用吸槍進(jìn)行探測(cè)，就能確定是否存在泄漏。檢測(cè)過程要保證在吸槍上加罩盒。一是為了防止環(huán)境中氦濃度過高，影響檢測(cè);二是為了防止一大片的漏點(diǎn)同時(shí)泄漏，不能檢測(cè)到漏點(diǎn)的確切位置及單個(gè)漏點(diǎn)的漏率。檢測(cè)時(shí)，吸槍要沿著漏點(diǎn)緩慢移動(dòng)，以便能夠檢測(cè)出漏源的準(zhǔn)確反應(yīng)值。

檢漏設(shè)備：質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗(yàn)后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時(shí)校驗(yàn)。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機(jī)等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等。