無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計建成的無塵潔凈房間。

無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟性一般往往可取。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟性一般往往可取。

(2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。

(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。

個人物品，例如煙、錢包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲物柜里，不能把它們帶進潔凈室。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。蘇州卓宇泰公司要求在進入潔凈室之前，首先要把眼鏡和護目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。影響無塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會污染產(chǎn)品。一次性鞋套每天更換一到兩次。