無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。

無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經濟性一般往往可取。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。

(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經濟性一般往往可取。

(2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率時，對大的系統采用FFU，當前還是不經濟的;對小系統有意義作具體比較。

(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統已經普遍。

個人物品，例如煙、錢包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲物柜里，不能把它們帶進潔凈室。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。蘇州卓宇泰公司要求在進入潔凈室之前，首先要把眼鏡和護目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。影響無塵室的氣流因素很多，如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會污染產品。一次性鞋套每天更換一到兩次。